而2nm工艺的实现则可能需要依赖于ASML新一代的高数值孔径 (High-NA) EUV光刻机EXE:5000系列。 近日,半导体研究机构SemiAnalysis的半导体设备和制造分析分析师Jeff Koch发布了一篇题为《ASML困境:High-NA EUV比Low-NA EUV多模式更糟糕》的文章,他原本任职于ASML 在High-NA EUV开发之初,芯片制造商和ASML面临着如何实现这一目标的艰难架构决策。 △成本标准化为Low-NA EUV 3nm,利用ASML在一年内提供的最佳Low-NA EUV和High-NA EUV光刻工具,以及源和阶段改进路线图 对于所有这些节点,即使ASML及时为1nm节点实现了 事实证明,ASML的公开材料支持我们的成本结论。传统上,新一代光刻机的销售价格比现有工具更高,但每片晶圆的成本更低。
独角兽ASML年报显示 服务器,数据中心和存储 在其营收中的比重越来越重要 到2030年总额将仅次于智能手机 整体市场营收预计将达到美金187billion 此言不虚 Synergy Research
在外媒报道发布之后,当地时间周六,ASML对外回应称,据该公司了解,美日荷政府就半导体制造设备对华出口的新限制达成协议方面取得了进展。 ASML 表示:“据我们了解,政府之间已采取措施达成协议,该协议将专注于先进的芯片制造技术,包括但不限于先进的光刻工具。” 不过,ASML补充说,“在它生效之前,必须详细说明并实施到立法中,这需要时间。” 根据ASML 先前公布的年度财报显示,中国大陆市场占该公司2021 年营收的15% 左右。 那么随着荷兰政府跟进美国新规,ASML的业务将受多大影响? 对此,ASML表示,这些措施预计不会对其 2023 年的财务预测产生重大影响。 温宁克表示,“中国的‘物理定律’和这里的一样,你越给他们施加压力,他们越有可能加倍努力”,以制造能够与ASML敌的光刻设备。
俄罗斯目前有5台老式的ASML光刻机 对于俄罗斯来说,自主制造芯片离不开关键的半导体设备,特别是光刻机。 目前全球主要的193nm(“深紫外”)波长的DUV光刻机供应商只有ASML、尼康和佳能,而13.5nm的(“极紫外”,接近X射线范围)波长的EUV光刻机只有ASML可以制造。 ASML发言人向The Insider证实,ASML公司从未向俄罗斯出售过大量设备。自2014年以来,只有价值5000万美元的ASML品牌光刻机进口到俄罗斯。 ASML声称,俄罗斯只从第三国进口了拆除的旧设备的零件。乌克兰出版物《真理报》在很大程度上证实了这一评估。 虽然目前俄罗斯有五台ASML设备正在运作中,但这些设备非常过时,甚至已有15-20年历史。
根据资料显示,在2012年,为了支持ASML EUV光刻机的研发与商用,并获得EUV光刻机的优先供应,在2012年,英特尔、台积电、三星均斥资入股了ASML。 2012年7月,英特尔入股ASML获得15%股权,并出资10亿美元支持研发。 2012年8月,台积电 入ASML获得股5%股权,承诺5年投入2.76亿欧元支持研发。 2012年8月,三星入股ASML获得3%股权,并额外投入2.75亿欧元支持研发。有资料显示,三星当时对于ASML的投资金额为3630亿韩元(按当前汇率约合人民币19.8亿元)。 因为台积电早在 2015 年就清仓了ASML 的股票,英特尔则在 2017年、2018 年及之后也陆续卖掉了持有的ASML 的股票。 2023年三季度,三星再度减持了其所持有的约0.3%的ASML 的股份的,套现了约1.34万亿韩元。经过2023年四季度的减持,三星电子所持有的ASML 的股份已经全部清空。
北京时间2024年1月24日下午,光刻机大厂ASML今日发布了2023年第四季度及全年财报,整体业绩表现高于市场预期。同时,ASML还确认,个别中国大陆晶圆厂低端DUV光刻机的供应也将受限。 另外,由于YieldStar系统销售额下降,ASML的计量和检验系统销售额下降了19%至5.36亿欧元,这期间ASML交付了首个YieldStar 500系统。 按季度来看,ASML 2024年下半年的业绩将高于上半年。 这也使得ASML无法向中国大陆出口NXT:2000i及以上浸没式DUV设备。 虽然ASML此前所获得的许可,允许其在2024年1月1日之前能够继续向中国大陆出口,但是ASML此前发布的声明显示,荷兰政府在在当地时间2024年1月1日之前已经部分吊销了2023年发货NXT:2050i
日本的尼康公司在这一领域与ASML是竞争对手,但市场份额远不如前者。 作为ASML的竞争对手之一,日本尼康公司股价也大跌8.6%,接近两年来的最大跌幅。 在这次访问中,Graves还参观了ASML公司在埃因霍温的总部,并会见了ASML的首席执行官Peter Wennink。 ASML是世界上最大的光刻机制造商,光刻机是制造半导体芯片过程中的一个关键步骤,ASML在该类型设备市场上牢牢占据主导地位。 ASML的EUV光刻系统在晶圆阶段的效果图。 据统计,ASML在2021年售出了81套DUV系统,而尼康只出售了4套,ASML的市场份额高达95%,占据绝对主导地位。 ASML的CEO Wennink今年早些时候表示,ASML反对禁止向中国客户销售DUV光刻设备,因为这已经是一项成熟的技术。
ASML为何这么牛? ASML首席技术官Martin van den Brink表示,经过一年多的谈判,ASML于1999年加入这个阵营。ASML的其他合作伙伴包括比利时的Imec研究中心和另一个美国财团Sematech。 2012年,英特尔、三星、台积电共同买入ASML 23%的股权,获得了ASML光刻机的优先供货权,成为了利益共同体。 截止2020年末,ASML的EUV中有90%零部件来自进口,而且根据ASML加入EUVLLC的承诺,美国零部件需占比55%以上。同时,ASML的前三大股东均来自美国,合计掌握ASML近30%的股权。 有专家认为,由于中国已经在使用这些机器,禁运更多额机器对ASML有害,且没有多少战略利益可言。 ASML也是如此认为。
先进半导体设备大厂ASML公司也下令美国员工依循拜登政府的最新规范,停止为中国客户提供服务。 一份内部邮件显示,ASML 要求其在美国的员工,避免直接或间接为中国客户提供服务、出货或是其他支持,公司仍在积极评估哪些特定晶圆厂可能受到新规影响。 作为全球半导体设备的领先业者,ASML 也必须在中美之间取得平衡。该公司一直都有向中国客户供应深紫外光 (DUV) 设备,但未提供更先进的极紫外光 (EUV) 机台。 ASML 发言人 Monique Mols 证实上述邮件讯息,但也表示公司没有计划公开这项讯息,未来将采取预防措施,确保能全面遵守出口管制新规。
这也进一步凸显了中国大陆市场对于ASML光刻系统的需求的快速增长。 ”ASML强调,“我们所有的设备发运都符合出口管制规定。” 四季度及全年业绩指引 ASML预计2023年第四季度的净销售额在67亿至71亿欧元之间,毛利率在50%至51%之间。 这也使得ASML的相关DUV光刻机的对华出口将会受到新的影响。 对此,ASML在财报会议上维持了与10月17日发布的声明一致的口径:“需要仔细评估潜在的影响。 ASML将向美国政府进一步澄清这些新规的适用范围。ASML持续致力于遵守经营所在国家/地区所有适用的法律和法规,包括出口管制法规。” 据路透社最新报道,ASML部分DUV光刻机也将受到限制,这将超出荷兰之前公布的新规,以防止荷兰ASML向一些先进的中国晶圆厂供应旧的DUV设备和零部件。
ASML的市场地位 其实说到荷兰的光刻机技术其实就是ASML公司,一个行业领先不是以国家大小为评判标准的,如同当初的诺基亚隶属于芬兰,也是没多大的国家,当初手机行业的绝对霸主,即使现在手机不行了,在电信领域也是绝对的巨头 ASML公司的强大之处。 全球唯一一家达到7纳米光刻机厂家,2018年全球总共大约有600台光刻机产量,其中ASML就占据了200多台,出货量能够占据到全球30%,其实只看这个数字还不是特别的显眼,目前在45纳米以下的光刻机ASML 占据到全球的80%,基本上讲现在全球顶级的芯片设计厂家,走的高端芯片几乎都是被ASML公司垄断,所以讲现在讲到光刻机技术基本上就是以ASML这家公司为基准,而且每套设备非常贵,有的甚至一台需要6个多亿人民币 ASML为什么如此强大 很多人会有疑问为什么ASML这家公司能有如此的强大,这家公司到底有什么与众不同之处。
参展进博会让更多人了解ASML 光刻机因是芯片制造环节中重要的一环而备受关注,ASML在中国也成为“网红”公司,知名度大增,但事实上,很多人对ASML公司并没有深入了解。 沈波表示,ASML想借助参展进博会的舞台让更多人对ASML和光刻机产品有更多了解。 这些芯片代工生产线均需要ASML的光刻机,因此,ASML也在进行新一轮的产能扩张。 不过,沈波表示,ASML的扩产不是一家公司的事情,需要供应链的企业通力合作一起来帮助扩产。 沈波称,ASML对客户都非常透明,客户对ASML也非常透明,基于这种长期的信任关系,ASML的光刻机价格这一轮并没有提价。 全球主要的光刻机公司除了ASML外,还有日本的佳能和尼康,但ASML占据了全球80%的光刻机市场。 沈波表示,ASML之所以能够成功是汲取了全球的智慧,依靠开放式创新不断做大。
预计ASML今年还将发货“一些”(High NA EUV系统),并且在定制和安装方面仍有工作要做。 ASML CEO Peter Wennink表示,AI需要大量运算能力和数据储存,如果没有ASML将无法实现,这也是公司业务一大驱动力。ASML上季收到的EUV设备订单也创下了历史新高。 此外,“预计ASML 在 2027-2028 年投产的尖端晶圆厂全面采用前沿逻辑制程之后,可能会拥有足够的High NA EUV产能。” 原本任职于ASML的Jeff Koch不久前还曾发布了一篇题为《ASML困境:High-NA EUV比Low-NA EUV多模式更糟糕》的文章中指出,现有的Low-NA EUV系统通过双重图案化技术,相比 ASML的High NA EUV产品管理负责人 Greet Storms在上周五表示,拐点将于 2026-2027 年左右到来。 编辑:芯智讯-浪客剑
ASML还制定了到 2025 年将新一代High NA EUV系统(EXE:5200)的生产效率提高到每小时 220 片晶圆的路线图。 在2022年之时,Martin就曾指出,ASML正在研究Hyper NA技术的可行性。不过,当时ASML尚未做出最终决定。 当时ASML担忧的是Hyper NA技术的制造成本增长速度和目前High-NA EUV技术一样,那么高昂的成本将会使得Hyper NA光刻机在经济层面几乎不可行。 不过,从ASML 2023年年度报告中披露的信息来看,ASML似乎已经解决了Hyper NA的成本和交付周期问题。 ASML首席技术官Martin van den Brink在ASML 2023年年度报告中表示,NA值高于0.7的Hyper NA光刻机无疑是继续发展芯片生产技术的机会,预计将从2030年左右开始获得应用
近日,根据荷兰布拉邦省投资发展局(Brabant Development Agency)公告声明,荷兰半导体设备制造商ASML的数十家供应商高层,本周将走访越南、马来西亚和新加坡等地,评估在东南亚设厂的可能性 知情人士表示,参与的数十家企业几乎都是 ASML 的供应商,而 ASML 是台积电、三星和英特尔等半导体制造商的主要供应商之一,这次的走访有可能的投资,主要就是为降低中国大陆的地缘政治风险。 由于美国拜登政府正试图限制中国制造自己的先进芯片能力,并延缓中国发展军事的能力,积极寻求荷兰政府支持,因此荷兰政府从未授予 ASML 向中国客户出售最先进的EUV光刻机的许可,同时即将发布的最新规定,也将阻止 ASML 向中国大陆出口ASML的部分浸没式DUV光刻机。 ASML 的核心设备每台EUV光刻机成本高达 1.6 亿欧元(约 1.7 亿美元),主要就是用来大规模生产芯片,荷兰贸易部长施莱纳马赫(Liesje Schreinemacher)表示,可以理解中国对荷兰决定限制芯片制造技术出口表达抗议
光刻设备商比如:ASML, Canon, Nikon, and GCA. –接触式光刻:分辨率较高,但是容易造成掩膜版和光刻胶膜的损伤。
在论坛上,与ASML合作开发光刻技术的比利时半导体研究组织IMEC在微尺度级别上宣布了3nm及以下工艺的技术细节。 ASML的密切合作,下一代高分辨率EUV光刻,高NA EUV光刻的商业化。 ASML过去一直与IMEC密切合作,以开发光刻技术,但为了使用高NA EUV光刻工具开发光刻工艺,已在IMEC校园内建立了新的“ IMEC-ASML高NA EUV实验室”,以促进联合研究和使用高NA EUV ASML在过去与IMEC密切合作开发光刻技术,但开发光刻过程使用高NA EUV光刻工具,一个新的「IMEC-ASML高NA EUV实验室」已经建立在IMEC校园促进联合研究和开发的光刻过程使用高NA EUV 参考链接: https://sparrowsnews.com/2020/12/01/asml-1nm-lithography/
当地时间9月6日,全球光刻机龙头大厂ASML首席执行官Peter Wennink接受荷兰新闻电视节采访时,强调了知识移民的必要性,并警告孤立中国的经济后果。 他指出,知识移民为经济做出贡献并纳税,ASML公司的员工来自多达124个国家。其中许多人来自印度、土耳其、比利时和葡萄牙。 然而,ASML 的首席执行官并不是唯一一个强调知识移民重要性的人。
“也许他们认为我们应该面对面,但 ASML 已经做出了牺牲,”温宁克说道。 温宁克表示,在美国的压力下,荷兰政府自 2019 年以来已经限制 ASML 向中国出口其最先进的EUV光刻机,他说这有利于销售替代技术的美国公司。 他表示,虽然 ASML 15% 的销售额在中国大陆,但在美国芯片设备供应商在中国大陆的“销售额占比为 25%,有时甚至超过 30%”。 ASML 的一位发言人证实了温宁克采访中的言论是准确的,但拒绝进一步置评。 美国政府于10月发布了针对美国公司的新的对华出口管制规定,旨在切断中国大陆制造先进半导体芯片的能力。 温宁克表示,美国芯片制造商能够向中国客户销售最先进的芯片,而 ASML 只能销售较旧的芯片制造设备,这似乎有些矛盾。
在这个领域称得上龙头的,荷兰的阿斯麦尔(ASML)首屈一指。 10月14日,ASML的首席财务官Roger Dassen就向中国出口光刻机的问题发表了口头声明。 ASML:「广泛」理解美国规章 根据Roger Dassen的说法,「如果广泛地来理解美国规章制度对 ASML 的总体含义(对于特定的中国客户),则意味着原则上 ASML 将能够从荷兰向这些中国客户提供 在此之前,ASML已经在北京、上海、深圳、无锡等地开设了分支机构,为客户提供服务和咨询。其中,深圳是其在亚洲最大的软件研发中心。 ASML二度示好? 能控制荷兰ASML出口,这背后的大股东究竟是谁? 早在1980年代前,ASML飞利浦旗下的一家小公司。后来,ASML借助台积电推出第一台浸润式微影机,从此成为光刻机全球市场的王者。 如今的ASML绕不开美国,据说ASML在美国的研发中心,甚至比荷兰总部还要大,此外就更别提技术的重要性了。 所以,虽然荷兰ASML「垄断」着全球光刻机市场,但核心资本仍握在美国手里。