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激光面型干涉仪和白光干涉仪的区别
引言在精密光学测量领域，激光面型干涉仪与白光干涉仪都是重要的测量设备。二者虽都基于干涉原理实现测量，但在多个方面存在显著差异。深入了解这些区别，有助于在实际应用中根据需求选择合适的测量仪器。 而白光干涉仪使用白光作为光源，白光包含了从可见光到近红外波段的多种波长成分，是宽带光源，其光谱范围广，但相干长度较短，这一特性决定了白光干涉仪在测量原理和适用场景上与激光面型干涉仪有所不同。 测量原理与方法不同激光面型干涉仪基于单色光干涉原理，利用激光的高相干性，通过产生稳定的干涉条纹来反映被测表面与参考面之间的差异。 常见的如泰曼 - 格林干涉仪等，通过分析干涉条纹的形状、间距和扭曲程度，结合波长等参数计算被测表面的面型误差。白光干涉仪主要通过垂直扫描干涉测量（VSI）或相移干涉测量（PSI）等模式实现测量。 测量范围与精度区别激光面型干涉仪由于激光的高相干性，测量范围较大，可用于大口径光学元件的面型检测，能测量较大尺寸的表面形貌。
34010编辑于 2025-07-21白光干涉仪与激光干涉仪的区别解析
引言在精密光学测量技术中，白光干涉仪与激光干涉仪凭借各自独特的光学特性，成为不同测量场景的核心工具。二者虽均基于光的干涉现象，但在光源选择、干涉机制及应用方向上存在本质差异。 激光干涉仪的干涉机制激光束经分光后形成测量光与参考光，测量光随被测物体运动，参考光路径固定。 激光干涉仪则更依赖被测物体的稳定反射特性，对高吸收率表面需配合反光镜使用，且难以捕捉表面微观纹理。 在操作复杂度上，白光干涉仪需进行繁琐的光学对准和参数校准，对操作人员专业要求较高；激光干涉仪则多采用自动化光路设计，校准流程简化，更易实现集成化测量。 大视野 3D 白光干涉仪：纳米级测量全域解决方案突破传统局限，定义测量新范式！大视野 3D 白光干涉仪凭借创新技术，一机解锁纳米级全场景测量，重新诠释精密测量的高效精密。
53110编辑于 2025-08-25白光干涉仪的光谱干涉模式原理
白光干涉仪的光谱干涉模式作为一种先进的测量手段，为众多领域提供了可靠的测量方案，深入探究其原理对拓展测量应用具有重要意义。 当白光进入干涉仪后，会被分光元件分为参考光和测量光两束光。参考光沿固定光路传播，测量光照射到被测物体表面后反射回来。 TopMap Micro View白光干涉3D轮廓仪一款可以“实时”动态/静态 微纳级3D轮廓测量的白光干涉仪1)一改传统白光干涉操作复杂的问题，实现一键智能聚焦扫描，亚纳米精度下实现卓越的重复性表现。
35310编辑于 2025-07-14白光干涉仪 - 显微平台不够大，改造成 4，6，8，12 寸晶圆台测试
一、引言在半导体制造与晶圆检测领域，白光干涉仪凭借高精度表面形貌测量能力得到广泛应用。然而，传统显微平台尺寸有限，难以满足 4、6、8、12 寸晶圆的检测需求。 将白光干涉仪显微平台改造为适配多尺寸晶圆检测的晶圆台，对提升晶圆质量检测效率与精度、推动半导体产业发展具有重要意义。 同时，白光干涉仪测量依赖精确的光路对准，晶圆台尺寸增大后，如何保证在大行程运动中光路不受干扰，维持测量精度，是改造面临的核心挑战。 三、晶圆台改造方案（一）机械结构改造设计可调节的晶圆承载平台，采用模块化结构，通过更换不同规格的承载板与定位夹具，适配 4、6、8、12 寸晶圆。 （二）光学系统优化重新布局白光干涉仪的光学系统，增加光学元件的视场范围，确保在检测大尺寸晶圆时，干涉条纹能完整覆盖晶圆表面。
20710编辑于 2025-08-15- 来自专栏睐芯科技LightSense
Mach–Zehnder干涉仪和它的变形
Mach–Zehnder interferometer干涉仪：Maach–Zehnder interferometer干涉仪的变形之一，用于测试斜入射反射中的平面表面。 Mach–Zehnder interferometer干涉仪的变形之二，Jamin interferometer干涉仪，用于测试透明物体的透射率。 Jamin interferometer干涉仪是将分束器和折叠镜组合成一个元件，如图。该装置非常坚固，对元件的机械漂移不敏感，因为当引入元件的分离、偏心或小倾斜时，参考臂和测试臂会经历几乎相同的变化。
23210编辑于 2024-08-03 白光干涉仪的工作原理解析
一、引言白光干涉仪作为一种高精度光学测量仪器，在微电子制造、精密机械加工、生物医学等领域有着广泛应用。 二、白光干涉仪的基本构成白光干涉仪主要由光源系统、干涉系统、成像系统和数据处理系统四部分组成。光源系统通常采用白光光源，如卤钨灯、氙灯等。 此外，对于透明介质的厚度测量，白光干涉仪利用光在介质上下表面反射产生的干涉条纹，通过分析条纹的特征可计算出介质的厚度。 大视野 3D 白光干涉仪：纳米级测量全域解决方案突破传统局限，定义测量新范式！大视野 3D 白光干涉仪凭借创新技术，一机解锁纳米级全场景测量，重新诠释精密测量的高效精密。 三大核心技术革新1）智能操作革命：告别传统白光干涉仪复杂操作流程，一键智能聚焦扫描功能，轻松实现亚纳米精度测量，且重复性表现卓越，让精密测量触手可及。
81110编辑于 2025-08-18- 来自专栏睐芯科技LightSense
迈克尔逊光纤端面干涉仪
现在市面上所有的光纤端面干涉仪都是Michelson式或者Mirau式。A、为什么呢？ 这是实际待测产品——光纤的参数决定的，其他形式的干涉仪的横向分辨率太低，只有Michelson式或者Mirau式能满足。 B、现在待测产品除了单光纤之外，越来越多是多芯的产品，要求视野要大，这时候mirau式不能满足，只能是Michelson式参考之前博文：芯片测量用的几种干涉仪原理光路和特点迈克尔逊干涉仪通过使用分束器将照明光分成两束来形成干涉条纹 下面是一个典型的迈克尔逊干涉仪的示意图。一束光从参考镜上反射（橙色光束），另一束光则从被测物体上反射（黄色光束）。这些光束被分束器重新组合，并被成像到相机上（绿光束）。
36510编辑于 2024-08-09 - 来自专栏睐芯科技LightSense
相移干涉术与光纤端面干涉仪
二 表面测量干涉测量原理 干涉仪利用光的波动特性来分析表面特性，特别是表面高度变化。为了评估表面形貌，干涉仪将光源分离，使其遵循两条独立的路径，其中一条路径包括参考表面，另一条路径是物体表面。 干涉现象可以通过考虑下图所示的经典迈克尔逊干涉仪来理解，这里假设配备了高相干光源，如激光器。根据通常的双光束干涉分析，在检测器处观察到的干涉信号。 光学系统的升级迈克尔逊干涉仪转换为用于表面形貌测量的工具。下图中透镜和电子相机的添加创建了一个数字图像，使得每个相机像素对应于物体表面上的共轭点。 五 干涉仪设计 主流的干涉仪大多数都是参考下图三种干涉仪结构之一来设计的。 测量光纤端面物理参数的仪器叫光纤端面干涉仪，应用的正是相移干涉仪术。
50510编辑于 2024-07-25 白光干涉仪的膜厚测量模式原理
白光干涉仪的膜厚测量模式，凭借高精度、非接触等优势，成为膜厚测量的重要技术手段，深入剖析其原理有助于更好地发挥该模式的测量效能。 光路结构与干涉基础白光干涉仪膜厚测量模式中，白光经准直后进入干涉仪的分光系统，被分为参考光束与测量光束。参考光束沿固定路径传播至参考镜反射，测量光束则照射在待测薄膜样品表面。 膜厚计算与测量实现依据提取的相位信息，结合已知的光源波长范围、干涉仪系统参数以及薄膜材料的折射率等数据，通过特定的数学模型和算法，可计算出薄膜的厚度值。 TopMap Micro View白光干涉3D轮廓仪一款可以“实时”动态/静态 微纳级3D轮廓测量的白光干涉仪1)一改传统白光干涉操作复杂的问题，实现一键智能聚焦扫描，亚纳米精度下实现卓越的重复性表现。
48810编辑于 2025-07-15白光干涉仪 “垂直分辨率” 的理解解析
引言在微纳米级表面测量领域，白光干涉仪凭借其高精度检测能力占据重要地位，而垂直分辨率作为衡量其性能的核心指标之一，直接决定了对样品表面微观起伏的捕捉能力。 垂直分辨率的定义与内涵垂直分辨率，即白光干涉仪在 Z 轴方向上能够分辨的最小高度差，是表征仪器对样品表面微小高度变化识别能力的关键参数。 其数值通常以纳米甚至亚纳米为单位，例如部分高端白光干涉仪的垂直分辨率可达到 0.1 纳米级别。 例如，采用宽光谱 LED 光源的白光干涉仪，其垂直分辨率通常优于传统单色光源干涉仪。 大视野 3D 白光干涉仪：纳米级测量全域解决方案突破传统局限，定义测量新范式！大视野 3D 白光干涉仪凭借创新技术，一机解锁纳米级全场景测量，重新诠释精密测量的高效精密。
32810编辑于 2025-08-21光刻胶剥离方法及白光干涉仪在光刻图形的测量
而对光刻图形的精确测量，能够有效监控光刻工艺和光刻胶剥离效果，白光干涉仪为此提供了可靠的技术手段。 白光干涉仪在光刻图形测量中的应用测量原理白光干涉仪基于白光干涉的基本原理，将白光光源发出的光经分光镜分为两束，一束投射到待测光刻图形表面反射回来，另一束作为参考光，两束光相遇产生干涉。 测量优势白光干涉仪具有高精度、非接触、快速测量等显著优势。 实际应用在光刻胶剥离前后，白光干涉仪都发挥着重要作用。 一款可以“实时”动态/静态 微纳级3D轮廓测量的白光干涉仪1)一改传统白光干涉操作复杂的问题，实现一键智能聚焦扫描，亚纳米精度下实现卓越的重复性表现。
29510编辑于 2025-05-28白光干涉仪与激光共聚焦显微镜的区别解析
引言在微观形貌表征领域，白光干涉仪与激光共聚焦显微镜是两种广泛应用的精密测量仪器。二者虽均能实现三维形貌成像，但基于不同的光学原理，在测量精度、适用范围及性能特点上存在显著差异。 测量原理的核心差异白光干涉仪的测量原理白光干涉仪基于光的干涉现象工作，其核心是利用宽光谱白光的低相干特性（相干长度通常小于 20μm）。 性能参数的对比分辨率特性在垂直分辨率方面，白光干涉仪表现更优，可达 0.1nm 级别，能精准捕捉纳米级的表面起伏；激光共聚焦显微镜的垂直分辨率通常在 10nm 以上，虽低于白光干涉仪，但足以满足多数微观结构的测量需求 适用场景与样品类型白光干涉仪的适用场景白光干涉仪适用于测量超光滑表面（如光学镜片、半导体硅片）的粗糙度、台阶高度等参数，尤其擅长大面积、低粗糙度样品的检测。 大视野 3D 白光干涉仪：纳米级测量全域解决方案突破传统局限，定义测量新范式！大视野 3D 白光干涉仪凭借创新技术，一机解锁纳米级全场景测量，重新诠释精密测量的高效精密。
57510编辑于 2025-08-27白光干涉仪在 ICP 刻蚀后的 3D 轮廓测量
摘要：本文研究白光干涉仪在 ICP 刻蚀后的 3D 轮廓测量应用，阐述其工作原理与技术优势，通过实例验证其对刻蚀后表面形貌的精准检测能力，为 ICP 刻蚀工艺的质量控制提供参考。 传统测量方法难以平衡精度与效率，而白光干涉仪以非接触、高分辨率特性，成为 ICP 刻蚀后 3D 轮廓检测的核心工具。二、白光干涉仪工作原理白光干涉仪基于低相干干涉效应实现三维重构。 3.3 高效全域检测支持 10mm×10mm 大面积扫描，结合快速拼接技术，3 分钟内可完成 6 英寸晶圆的全域测量，同步获取刻蚀均匀性与局部缺陷数据，效率较 SEM 提升 20 倍以上，适配批量生产的快速质检需求 大视野 3D 白光干涉仪：纳米级测量全域解决方案突破传统局限，定义测量新范式！大视野 3D 白光干涉仪凭借创新技术，一机解锁纳米级全场景测量，重新诠释精密测量的高效精密。 三大核心技术革新1）智能操作革命：告别传统白光干涉仪复杂操作流程，一键智能聚焦扫描功能，轻松实现亚纳米精度测量，且重复性表现卓越，让精密测量触手可及。
17810编辑于 2025-10-16- 来自专栏脑机接口
值得关注！一种新型脑机接口--集成光子芯片的脑机接口是否可行？
带N '输入和N '输出的片上光学干涉仪。输出模式可以通过机器学习技术进行特征提取。对于每项认知任务或决策，在针对特定任务进行多次训练后，预计会形成类似的模式(平均而言)。 在安装在计算机、机器或智能手机上的软件上，由 CMOS 阵列组成的芯片通过卷积神经网络 (CNN) 对检测到的 UPE 进行特征提取和模式识别，顶部) 不使用光学干涉仪直接进行UPE检测，底部) 在干涉仪后进行 光学干涉仪的存在是为了区分UPE波长，因为相似光子(在波长上)的干涉与非相似光子形成不同的模式。这种干涉仪的优点之一是对相似波长进行简单的“光谱测量”。 利用CMOS阵列直接检测UPE和光学干涉仪间接检测UPE都可用于UPE数据采集。 图6 上图演示了一个典型的片上UPE探测器可以由连接到集成光子电路的光纤阵列构成，该集成光子电路具有由CMOS光电传感器阵列组成的输出门。 图7 上图为光学干涉仪中各种MZI调制器单元的示意图。
78620编辑于 2022-08-18 白光干涉仪在晶圆玻璃刻蚀后的 3D 轮廓测量
关键词：白光干涉仪；晶圆玻璃；刻蚀；3D 轮廓测量一、引言晶圆玻璃在诸多高科技领域应用广泛，其刻蚀后的表面 3D 轮廓精度直接影响器件性能。 白光干涉仪凭借独特的测量性能，成为晶圆玻璃刻蚀后 3D 轮廓测量的理想工具。二、白光干涉仪工作原理白光干涉仪以白光干涉现象为基础，将宽带白光光源投射到晶圆玻璃表面。 四、应用实例某电子制造企业在晶圆玻璃刻蚀工艺后，采用白光干涉仪对其 3D 轮廓进行测量。选取刻蚀后的 6 英寸晶圆玻璃，设置合适的测量范围和分辨率参数，对其表面进行扫描。 大视野 3D 白光干涉仪：纳米级测量全域解决方案突破传统局限，定义测量新范式！大视野 3D 白光干涉仪凭借创新技术，一机解锁纳米级全场景测量，重新诠释精密测量的高效精密。 三大核心技术革新1）智能操作革命：告别传统白光干涉仪复杂操作流程，一键智能聚焦扫描功能，轻松实现亚纳米精度测量，且重复性表现卓越，让精密测量触手可及。
21110编辑于 2025-09-29白光干涉仪在感性耦合等离子体刻蚀法 (ICP) 后的 3D 轮廓测量
传统测量方法难以兼顾纳米级精度与大面积检测需求，而白光干涉仪以非接触、高分辨率及全域测量特性，成为 ICP 刻蚀后 3D 轮廓测量的理想工具。 二、白光干涉仪工作原理白光干涉仪基于低相干干涉技术实现三维形貌重构。 3.3 高效全域检测支持最大 10mm×10mm 的大面积扫描，结合快速拼接算法，可在 3 分钟内完成整片 6 英寸晶圆的轮廓测量，同步获取刻蚀均匀性、局部缺陷等全域数据，效率较扫描电镜（SEM）提升 大视野 3D 白光干涉仪：纳米级测量全域解决方案突破传统局限，定义测量新范式！大视野 3D 白光干涉仪凭借创新技术，一机解锁纳米级全场景测量，重新诠释精密测量的高效精密。 三大核心技术革新1）智能操作革命：告别传统白光干涉仪复杂操作流程，一键智能聚焦扫描功能，轻松实现亚纳米精度测量，且重复性表现卓越，让精密测量触手可及。
17610编辑于 2025-10-15采用 FCVD (流体 CVD) 方法完成填充后的 3D 轮廓测量 - 白光干涉仪
白光干涉仪凭借非接触、高分辨率及多材料适配性，成为 FCVD 填充后 3D 轮廓测量的理想工具。二、测量原理与方法白光干涉仪基于低相干干涉技术实现三维形貌重构。 3.3 高效全域表征支持 1mm×1mm 的单次扫描范围，结合快速拼接算法，可在 5 分钟内完成 6 英寸晶圆上 FCVD 填充结构的全域测量，同步获取填充均匀性（偏差＜1%）、表面粗糙度（Ra 分辨率 四、应用实例某半导体厂对 FCVD 铜填充的高深宽比沟槽（深宽比 10:1，深度 5μm）进行检测，采用白光干涉仪配置 50× 物镜与多材料测量模式。 大视野 3D 白光干涉仪：纳米级测量全域解决方案突破传统局限，定义测量新范式！大视野 3D 白光干涉仪凭借创新技术，一机解锁纳米级全场景测量，重新诠释精密测量的高效精密。 三大核心技术革新1）智能操作革命：告别传统白光干涉仪复杂操作流程，一键智能聚焦扫描功能，轻松实现亚纳米精度测量，且重复性表现卓越，让精密测量触手可及。
25110编辑于 2025-10-28白光干涉仪在超高深宽比沟槽填充 CVD 的 3D 轮廓测量
摘要：本文研究白光干涉仪在超高深宽比沟槽填充 CVD 后的 3D 轮廓测量中的应用，分析其工作原理及适配该结构的技术优势，通过实际案例验证其测量精度，为超高深宽比沟槽填充工艺的质量控制与性能优化提供技术支持 白光干涉仪凭借非接触、高分辨率及深结构探测能力，成为该场景下 3D 轮廓测量的核心技术手段。二、白光干涉仪工作原理白光干涉仪基于低相干干涉技术实现三维形貌重构。 3.3 全域快速检测支持 0.5mm×0.5mm 的单次扫描范围，结合智能拼接算法，可在 10 分钟内完成 6 英寸晶圆上超高深宽比沟槽阵列的全域测量，同步获取填充深度均匀性、台阶覆盖率（测量误差＜1% 大视野 3D 白光干涉仪：纳米级测量全域解决方案突破传统局限，定义测量新范式！大视野 3D 白光干涉仪凭借创新技术，一机解锁纳米级全场景测量，重新诠释精密测量的高效精密。 三大核心技术革新1）智能操作革命：告别传统白光干涉仪复杂操作流程，一键智能聚焦扫描功能，轻松实现亚纳米精度测量，且重复性表现卓越，让精密测量触手可及。
25510编辑于 2025-10-21白光干涉仪与共聚焦显微镜的区别解析
引言在微纳米级表面光学分析领域，白光干涉仪与共聚焦显微镜作为重要的检测工具，发挥着关键作用。 测量原理差异白光干涉仪白光干涉仪基于白光干涉技术。利用白光的低相干特性，使物体反射光线与参考面反射光线经分光镜产生干涉波。 测量精度与适用场景白光干涉仪白光干涉仪 Z 向精度可达纳米和亚纳米级别，擅长测量大范围光滑样品，尤其是亚纳米级超光滑表面，追求检测数值绝对精准。 仪器结构与操作白光干涉仪整体结构相对复杂，包含光源、干涉结构、垂直扫描系统等组件。操作需要一定专业知识，对环境稳定性要求较高，以保证干涉测量精度 。 大视野 3D 白光干涉仪：纳米级测量全域解决方案突破传统局限，定义测量新范式！大视野 3D 白光干涉仪凭借创新技术，一机解锁纳米级全场景测量，重新诠释精密测量的高效精密。
39900编辑于 2025-08-20白光干涉仪在晶圆光刻图形 3D 轮廓测量中的应用解析
白光干涉仪凭借非接触、高精度、快速三维成像的特性，成为光刻图形测量的核心工具，为光刻胶涂覆、曝光、显影等工艺的参数优化提供关键数据支撑。 白光干涉仪的技术特性恰好适配这些测量难点。 白光干涉仪的技术适配性高精度微纳测量能力白光干涉仪的垂直分辨率可达 0.1nm，横向分辨率达 0.2μm，能捕捉光刻图形 1nm 级的高度波动和 5nm 级的线宽变化。 大面积扫描与自动化分析通过精密 XY 平台拼接扫描，可在 6 分钟内完成 300mm 晶圆上 5mm×5mm 区域的三维成像，覆盖数百个光刻图形单元。 大视野 3D 白光干涉仪：纳米级测量全域解决方案突破传统局限，定义测量新范式！大视野 3D 白光干涉仪凭借创新技术，一机解锁纳米级全场景测量，重新诠释精密测量的高效精密。
38610编辑于 2025-09-03
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