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激光面型干涉仪和白光干涉仪的区别
引言在精密光学测量领域，激光面型干涉仪与白光干涉仪都是重要的测量设备。二者虽都基于干涉原理实现测量，但在多个方面存在显著差异。深入了解这些区别，有助于在实际应用中根据需求选择合适的测量仪器。 而白光干涉仪使用白光作为光源，白光包含了从可见光到近红外波段的多种波长成分，是宽带光源，其光谱范围广，但相干长度较短，这一特性决定了白光干涉仪在测量原理和适用场景上与激光面型干涉仪有所不同。 常见的如泰曼 - 格林干涉仪等，通过分析干涉条纹的形状、间距和扭曲程度，结合波长等参数计算被测表面的面型误差。白光干涉仪主要通过垂直扫描干涉测量（VSI）或相移干涉测量（PSI）等模式实现测量。 2)系统集成CST连续扫描技术，Z向测量范围高达100mm，不受物镜放大倍率的影响的高精度垂直分辨率，为复杂形貌测量提供全面解决方案。3）可搭载多普勒激光测振系统，实现实现“动态”3D轮廓测量。 实际案例1，优于1nm分辨率，轻松测量硅片表面粗糙度测量，Ra=0.7nm2，毫米级视野，实现5nm-有机油膜厚度扫描3，卓越的“高深宽比”测量能力，实现光刻图形凹槽深度和开口宽度测量。
34010编辑于 2025-07-21白光干涉仪与激光干涉仪的区别解析
引言在精密光学测量技术中，白光干涉仪与激光干涉仪凭借各自独特的光学特性，成为不同测量场景的核心工具。二者虽均基于光的干涉现象，但在光源选择、干涉机制及应用方向上存在本质差异。 激光干涉仪的干涉机制激光束经分光后形成测量光与参考光，测量光随被测物体运动，参考光路径固定。 在操作复杂度上，白光干涉仪需进行繁琐的光学对准和参数校准，对操作人员专业要求较高；激光干涉仪则多采用自动化光路设计，校准流程简化，更易实现集成化测量。 大视野 3D 白光干涉仪：纳米级测量全域解决方案突破传统局限，定义测量新范式！大视野 3D 白光干涉仪凭借创新技术，一机解锁纳米级全场景测量，重新诠释精密测量的高效精密。 2）超大视野 + 超高精度：搭载 0.6 倍镜头，拥有 15mm 单幅超大视野，结合 0.1nm 级测量精度，既能满足纳米级微观结构的精细检测，又能无缝完成 8 寸晶圆 FULL MAPPING 扫描，
53110编辑于 2025-08-25白光干涉仪的光谱干涉模式原理
白光干涉仪的光谱干涉模式作为一种先进的测量手段，为众多领域提供了可靠的测量方案，深入探究其原理对拓展测量应用具有重要意义。 当白光进入干涉仪后，会被分光元件分为参考光和测量光两束光。参考光沿固定光路传播，测量光照射到被测物体表面后反射回来。 TopMap Micro View白光干涉3D轮廓仪一款可以“实时”动态/静态 微纳级3D轮廓测量的白光干涉仪1)一改传统白光干涉操作复杂的问题，实现一键智能聚焦扫描，亚纳米精度下实现卓越的重复性表现。 2)系统集成CST连续扫描技术，Z向测量范围高达100mm，不受物镜放大倍率的影响的高精度垂直分辨率，为复杂形貌测量提供全面解决方案。3）可搭载多普勒激光测振系统，实现实现“动态”3D轮廓测量。 实际案例1，优于1nm分辨率，轻松测量硅片表面粗糙度测量，Ra=0.7nm2，毫米级视野，实现5nm-有机油膜厚度扫描3，卓越的“高深宽比”测量能力，实现光刻图形凹槽深度和开口宽度测量。
35310编辑于 2025-07-14- 来自专栏睐芯科技LightSense
Mach–Zehnder干涉仪和它的变形
Mach–Zehnder interferometer干涉仪：Maach–Zehnder interferometer干涉仪的变形之一，用于测试斜入射反射中的平面表面。 Mach–Zehnder interferometer干涉仪的变形之二，Jamin interferometer干涉仪，用于测试透明物体的透射率。 Jamin interferometer干涉仪是将分束器和折叠镜组合成一个元件，如图。该装置非常坚固，对元件的机械漂移不敏感，因为当引入元件的分离、偏心或小倾斜时，参考臂和测试臂会经历几乎相同的变化。
23210编辑于 2024-08-03 白光干涉仪的工作原理解析
一、引言白光干涉仪作为一种高精度光学测量仪器，在微电子制造、精密机械加工、生物医学等领域有着广泛应用。 二、白光干涉仪的基本构成白光干涉仪主要由光源系统、干涉系统、成像系统和数据处理系统四部分组成。光源系统通常采用白光光源，如卤钨灯、氙灯等。 此外，对于透明介质的厚度测量，白光干涉仪利用光在介质上下表面反射产生的干涉条纹，通过分析条纹的特征可计算出介质的厚度。 大视野 3D 白光干涉仪：纳米级测量全域解决方案突破传统局限，定义测量新范式！大视野 3D 白光干涉仪凭借创新技术，一机解锁纳米级全场景测量，重新诠释精密测量的高效精密。 2）超大视野 + 超高精度：搭载 0.6 倍镜头，拥有 15mm 单幅超大视野，结合 0.1nm 级测量精度，既能满足纳米级微观结构的精细检测，又能无缝完成 8 寸晶圆 FULL MAPPING 扫描，
81010编辑于 2025-08-18- 来自专栏睐芯科技LightSense
迈克尔逊光纤端面干涉仪
现在市面上所有的光纤端面干涉仪都是Michelson式或者Mirau式。A、为什么呢？ 这是实际待测产品——光纤的参数决定的，其他形式的干涉仪的横向分辨率太低，只有Michelson式或者Mirau式能满足。 B、现在待测产品除了单光纤之外，越来越多是多芯的产品，要求视野要大，这时候mirau式不能满足，只能是Michelson式参考之前博文：芯片测量用的几种干涉仪原理光路和特点迈克尔逊干涉仪通过使用分束器将照明光分成两束来形成干涉条纹 下面是一个典型的迈克尔逊干涉仪的示意图。一束光从参考镜上反射（橙色光束），另一束光则从被测物体上反射（黄色光束）。这些光束被分束器重新组合，并被成像到相机上（绿光束）。
36510编辑于 2024-08-09 - 来自专栏睐芯科技LightSense
相移干涉术与光纤端面干涉仪
用压电陶瓷PZT 移动反射镜使参考臂的光程以小位移λ ×(Δψ)/(2π) (λ 是光源波长)阶梯变化。 下图是3步移相法，分析过程：（a）每个相位偏移π/2 rad的输入条纹图案，（b）获得的相位图及其展开结果（详细描述如下），以及（c）最终获得的高度（光程差）图。 四 相位解包裹 在常用的条纹分析中因为条纹的阶次经常不能预先确定,仅仅除以2π后的分数相位被包裹在-π~π之间,这将会产生不连续的相位跃变。 五 干涉仪设计 主流的干涉仪大多数都是参考下图三种干涉仪结构之一来设计的。 测量光纤端面物理参数的仪器叫光纤端面干涉仪，应用的正是相移干涉仪术。
50510编辑于 2024-07-25 白光干涉仪的膜厚测量模式原理
白光干涉仪的膜厚测量模式，凭借高精度、非接触等优势，成为膜厚测量的重要技术手段，深入剖析其原理有助于更好地发挥该模式的测量效能。 光路结构与干涉基础白光干涉仪膜厚测量模式中，白光经准直后进入干涉仪的分光系统，被分为参考光束与测量光束。参考光束沿固定路径传播至参考镜反射，测量光束则照射在待测薄膜样品表面。 膜厚计算与测量实现依据提取的相位信息，结合已知的光源波长范围、干涉仪系统参数以及薄膜材料的折射率等数据，通过特定的数学模型和算法，可计算出薄膜的厚度值。 2)系统集成CST连续扫描技术，Z向测量范围高达100mm，不受物镜放大倍率的影响的高精度垂直分辨率，为复杂形貌测量提供全面解决方案。3）可搭载多普勒激光测振系统，实现实现“动态”3D轮廓测量。 实际案例1，优于1nm分辨率，轻松测量硅片表面粗糙度测量，Ra=0.7nm2，毫米级视野，实现5nm-有机油膜厚度扫描3，卓越的“高深宽比”测量能力，实现光刻图形凹槽深度和开口宽度测量。
48810编辑于 2025-07-15白光干涉仪 “垂直分辨率” 的理解解析
垂直分辨率的定义与内涵垂直分辨率，即白光干涉仪在 Z 轴方向上能够分辨的最小高度差，是表征仪器对样品表面微小高度变化识别能力的关键参数。 其数值通常以纳米甚至亚纳米为单位，例如部分高端白光干涉仪的垂直分辨率可达到 0.1 纳米级别。 例如，采用宽光谱 LED 光源的白光干涉仪，其垂直分辨率通常优于传统单色光源干涉仪。 大视野 3D 白光干涉仪：纳米级测量全域解决方案突破传统局限，定义测量新范式！大视野 3D 白光干涉仪凭借创新技术，一机解锁纳米级全场景测量，重新诠释精密测量的高效精密。 2）超大视野 + 超高精度：搭载 0.6 倍镜头，拥有 15mm 单幅超大视野，结合 0.1nm 级测量精度，既能满足纳米级微观结构的精细检测，又能无缝完成 8 寸晶圆 FULL MAPPING 扫描，
32810编辑于 2025-08-21光刻胶剥离方法及白光干涉仪在光刻图形的测量
白光干涉仪在光刻图形测量中的应用测量原理白光干涉仪基于白光干涉的基本原理，将白光光源发出的光经分光镜分为两束，一束投射到待测光刻图形表面反射回来，另一束作为参考光，两束光相遇产生干涉。 测量优势白光干涉仪具有高精度、非接触、快速测量等显著优势。 实际应用在光刻胶剥离前后，白光干涉仪都发挥着重要作用。 2)系统集成CST连续扫描技术，Z向测量范围高达100mm，不受物镜放大倍率的影响的高精度垂直分辨率，为复杂形貌测量提供全面解决方案。3）可搭载多普勒激光测振系统，实现实现“动态”3D轮廓测量。 实际案例（以上为新启航实测样品数据结果）1，优于1nm分辨率，轻松测量硅片表面粗糙度测量，Ra=0.7nm（以上为新启航实测样品数据结果）2，毫米级视野，实现5nm-有机油膜厚度扫描（以上为新启航实测样品数据结果
29510编辑于 2025-05-28白光干涉仪与激光共聚焦显微镜的区别解析
测量原理的核心差异白光干涉仪的测量原理白光干涉仪基于光的干涉现象工作，其核心是利用宽光谱白光的低相干特性（相干长度通常小于 20μm）。 性能参数的对比分辨率特性在垂直分辨率方面，白光干涉仪表现更优，可达 0.1nm 级别，能精准捕捉纳米级的表面起伏；激光共聚焦显微镜的垂直分辨率通常在 10nm 以上，虽低于白光干涉仪，但足以满足多数微观结构的测量需求 适用场景与样品类型白光干涉仪的适用场景白光干涉仪适用于测量超光滑表面（如光学镜片、半导体硅片）的粗糙度、台阶高度等参数，尤其擅长大面积、低粗糙度样品的检测。 大视野 3D 白光干涉仪：纳米级测量全域解决方案突破传统局限，定义测量新范式！大视野 3D 白光干涉仪凭借创新技术，一机解锁纳米级全场景测量，重新诠释精密测量的高效精密。 2）超大视野 + 超高精度：搭载 0.6 倍镜头，拥有 15mm 单幅超大视野，结合 0.1nm 级测量精度，既能满足纳米级微观结构的精细检测，又能无缝完成 8 寸晶圆 FULL MAPPING 扫描，
57510编辑于 2025-08-27白光干涉仪与共聚焦显微镜的区别解析
引言在微纳米级表面光学分析领域，白光干涉仪与共聚焦显微镜作为重要的检测工具，发挥着关键作用。 测量原理差异白光干涉仪白光干涉仪基于白光干涉技术。利用白光的低相干特性，使物体反射光线与参考面反射光线经分光镜产生干涉波。 测量精度与适用场景白光干涉仪白光干涉仪 Z 向精度可达纳米和亚纳米级别，擅长测量大范围光滑样品，尤其是亚纳米级超光滑表面，追求检测数值绝对精准。 大视野 3D 白光干涉仪：纳米级测量全域解决方案突破传统局限，定义测量新范式！大视野 3D 白光干涉仪凭借创新技术，一机解锁纳米级全场景测量，重新诠释精密测量的高效精密。 2）超大视野 + 超高精度：搭载 0.6 倍镜头，拥有 15mm 单幅超大视野，结合 0.1nm 级测量精度，既能满足纳米级微观结构的精细检测，又能无缝完成 8 寸晶圆 FULL MAPPING 扫描，
39900编辑于 2025-08-20白光干涉仪与原子力显微镜测试粗糙度的区别解析
测量原理的本质差异白光干涉仪的测量原理白光干涉仪基于光学干涉现象实现粗糙度测量。宽光谱白光经分光镜分为参考光与物光，参考光经固定参考镜反射，物光照射样品表面后反射，两束光在接收端形成干涉条纹。 环境适应性白光干涉仪受环境振动、温度波动影响较大，需在恒温（±0.5℃）、防震条件下工作，否则易导致干涉条纹失真，影响粗糙度计算精度。 原子力显微镜虽对振动也较敏感，但因测量尺度小，对环境的整体稳定性要求略低于白光干涉仪，部分型号可在普通实验室环境中使用。 大视野 3D 白光干涉仪：纳米级测量全域解决方案突破传统局限，定义测量新范式！大视野 3D 白光干涉仪凭借创新技术，一机解锁纳米级全场景测量，重新诠释精密测量的高效精密。 2）超大视野 + 超高精度：搭载 0.6 倍镜头，拥有 15mm 单幅超大视野，结合 0.1nm 级测量精度，既能满足纳米级微观结构的精细检测，又能无缝完成 8 寸晶圆 FULL MAPPING 扫描，
64610编辑于 2025-08-26白光干涉仪在半导体沟槽型碳化硅 (SiC) MOSFET 芯片的 3D 轮廓测量
关键词：白光干涉仪；碳化硅（SiC）；沟槽型 MOSFET；3D 轮廓测量一、引言沟槽型碳化硅（SiC）MOSFET 作为高频、高压功率器件的核心，其沟槽结构（深度 2-5μm，宽度 0.5-2μm）的 二、测量原理与方法白光干涉仪基于低相干干涉技术实现三维形貌重构。 刻蚀表面，仍能保持纵向测量精度 ±2nm，解决传统探针式测量在坚硬 SiC 表面易磨损、精度下降的问题。 大视野 3D 白光干涉仪：纳米级测量全域解决方案突破传统局限，定义测量新范式！大视野 3D 白光干涉仪凭借创新技术，一机解锁纳米级全场景测量，重新诠释精密测量的高效精密。 2）超大视野 + 超高精度：搭载 0.6 倍镜头，拥有 15mm 单幅超大视野，结合 0.1nm 级测量精度，既能满足纳米级微观结构的精细检测，又能无缝完成 8 寸晶圆 FULL MAPPING 扫描，
28410编辑于 2025-11-06白光干涉仪在 ICP 刻蚀后的 3D 轮廓测量
摘要：本文研究白光干涉仪在 ICP 刻蚀后的 3D 轮廓测量应用，阐述其工作原理与技术优势，通过实例验证其对刻蚀后表面形貌的精准检测能力，为 ICP 刻蚀工艺的质量控制提供参考。 传统测量方法难以平衡精度与效率，而白光干涉仪以非接触、高分辨率特性，成为 ICP 刻蚀后 3D 轮廓检测的核心工具。二、白光干涉仪工作原理白光干涉仪基于低相干干涉效应实现三维重构。 大视野 3D 白光干涉仪：纳米级测量全域解决方案突破传统局限，定义测量新范式！大视野 3D 白光干涉仪凭借创新技术，一机解锁纳米级全场景测量，重新诠释精密测量的高效精密。 三大核心技术革新1）智能操作革命：告别传统白光干涉仪复杂操作流程，一键智能聚焦扫描功能，轻松实现亚纳米精度测量，且重复性表现卓越，让精密测量触手可及。 2）超大视野 + 超高精度：搭载 0.6 倍镜头，拥有 15mm 单幅超大视野，结合 0.1nm 级测量精度，既能满足纳米级微观结构的精细检测，又能无缝完成 8 寸晶圆 FULL MAPPING 扫描，
17810编辑于 2025-10-16白光干涉仪在晶圆化学蚀刻后的 3D 轮廓测量
摘要： 本文阐述了白光干涉仪在晶圆化学蚀刻后 3D 轮廓测量中的应用。 介绍了白光干涉仪的工作原理与技术优势，通过实际案例分析其在获取蚀刻后晶圆表面精确 3D 轮廓数据方面的有效性，为半导体制造中晶圆表面质量检测提供了重要参考。 白光干涉仪作为一种先进的非接触式测量设备，在该领域展现出独特优势。二、白光干涉仪工作原理白光干涉仪基于白光干涉原理，投射宽带光源到晶圆表面。晶圆表面反射光与参考光干涉形成干涉图样。 大视野 3D 白光干涉仪：纳米级测量全域解决方案突破传统局限，定义测量新范式！大视野 3D 白光干涉仪凭借创新技术，一机解锁纳米级全场景测量，重新诠释精密测量的高效精密。 2）超大视野 + 超高精度：搭载 0.6 倍镜头，拥有 15mm 单幅超大视野，结合 0.1nm 级测量精度，既能满足纳米级微观结构的精细检测，又能无缝完成 8 寸晶圆 FULL MAPPING 扫描，
25110编辑于 2025-09-28- 来自专栏脑机接口
值得关注！一种新型脑机接口--集成光子芯片的脑机接口是否可行？
图2 上图2为研究人员提出的BCI方案。在BCI方案中，将光学芯片植入颅骨的内表面。少数 UPE 光子会干扰光子芯片，结果被检测为探测器处随时间变化的不同单光子分布。 在安装在计算机、机器或智能手机上的软件上，由 CMOS 阵列组成的芯片通过卷积神经网络 (CNN) 对检测到的 UPE 进行特征提取和模式识别，顶部) 不使用光学干涉仪直接进行UPE检测，底部) 在干涉仪后进行 光学干涉仪的存在是为了区分UPE波长，因为相似光子(在波长上)的干涉与非相似光子形成不同的模式。这种干涉仪的优点之一是对相似波长进行简单的“光谱测量”。 利用CMOS阵列直接检测UPE和光学干涉仪间接检测UPE都可用于UPE数据采集。 图7 上图为光学干涉仪中各种MZI调制器单元的示意图。光在波导和调制器中的不良衰减取决于芯片平台的材料以及确定弯曲和散射损耗的调制器的尺寸和结构。
78620编辑于 2022-08-18 白光干涉仪在芯片晶圆沟槽的 3D 轮廓测量
白光干涉仪凭借非接触、高分辨率及三维重构能力，成为芯片晶圆沟槽 3D 轮廓测量的核心技术手段。二、白光干涉仪工作原理白光干涉仪基于低相干干涉技术实现三维形貌重构。 3.3 高效全域表征支持最大 2mm×2mm 的单次扫描范围，结合快速图像拼接技术，可在 5 分钟内完成整片 8 英寸晶圆的沟槽阵列测量，同步获取沟槽的分布均匀性、局部缺陷（如侧壁凹陷、底部凸起）等全域数据 采用白光干涉仪配置 50× 物镜（视场 0.5mm×0.5mm）与沟槽测量模式，结果显示：实际沟槽深度为 298±2nm，宽度偏差最大 8nm，侧壁垂直度 89.3°，局部区域因刻蚀不均出现底部 1.5nm 大视野 3D 白光干涉仪：纳米级测量全域解决方案突破传统局限，定义测量新范式！大视野 3D 白光干涉仪凭借创新技术，一机解锁纳米级全场景测量，重新诠释精密测量的高效精密。 2）超大视野 + 超高精度：搭载 0.6 倍镜头，拥有 15mm 单幅超大视野，结合 0.1nm 级测量精度，既能满足纳米级微观结构的精细检测，又能无缝完成 8 寸晶圆 FULL MAPPING 扫描，
21610编辑于 2025-10-18- 来自专栏睐芯科技LightSense
芯片测量用的几种干涉仪原理光路和特点
一，Fizeau干涉仪特点 • Large AOI wafer level • High 生产量 • Z 轴分辨率 < 1nm • X-Y 轴分辨率 100-200 μm Fizeau干涉仪： 双Fizeau 干涉仪： 二、Deflectomety干涉仪特点 • Large AOI wafer level • High 生产量 • Z 轴分辨率 < 1nm • X-Y 轴分辨率 100-200 μm 三、Shearing 干涉仪特点 • Large AOI wafer level • High 生产量 • Z 轴分辨率 < 1nm • X-Y 轴分辨率 100-200 μm 四、Michelson, Mirau干涉仪特点 • Large AOI Die level with stitching • 中等产能 • Z 轴分辨率 < 1nm • X-Y 轴分辨率 0.3 -10 μm (取决于物镜) Michelson干涉仪 ： Mirau干涉仪：
17610编辑于 2024-07-24 白光干涉仪在晶圆玻璃刻蚀后的 3D 轮廓测量
关键词：白光干涉仪；晶圆玻璃；刻蚀；3D 轮廓测量一、引言晶圆玻璃在诸多高科技领域应用广泛，其刻蚀后的表面 3D 轮廓精度直接影响器件性能。 白光干涉仪凭借独特的测量性能，成为晶圆玻璃刻蚀后 3D 轮廓测量的理想工具。二、白光干涉仪工作原理白光干涉仪以白光干涉现象为基础，将宽带白光光源投射到晶圆玻璃表面。 大视野 3D 白光干涉仪：纳米级测量全域解决方案突破传统局限，定义测量新范式！大视野 3D 白光干涉仪凭借创新技术，一机解锁纳米级全场景测量，重新诠释精密测量的高效精密。 三大核心技术革新1）智能操作革命：告别传统白光干涉仪复杂操作流程，一键智能聚焦扫描功能，轻松实现亚纳米精度测量，且重复性表现卓越，让精密测量触手可及。 2）超大视野 + 超高精度：搭载 0.6 倍镜头，拥有 15mm 单幅超大视野，结合 0.1nm 级测量精度，既能满足纳米级微观结构的精细检测，又能无缝完成 8 寸晶圆 FULL MAPPING 扫描，
21110编辑于 2025-09-29
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