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  • 来自专栏芯片工艺技术

    Mini LED产业

    2.2 Mini LED封装工艺对机、检测和返修设备提出新要求 LED封装流程所需设备包括机、焊线机/回流焊 机、灌机、检测与返修设备等。 机用于芯片 贴装环节;焊线机用于正装芯片与基板之间的引线 键合;回流焊机用于倒装工艺下的芯片焊接;灌 机用于封环节;检测设备用于生产各环节的检测; 返修设备用于去除和替换存在缺陷的部分晶粒。 2.3 环节:芯片转移技术是提升Mini LED产能的关键 机是LED封装的重要设备。 常见的 Pick & Place模式机工作原理为:①对晶片和 PCB/支架板进行图像识别、定位及图像处理。②通过 银拾取装置对支架板的给定位置进行点处理。 部分设备产品可实现的 功能包括自动获取不良坐标和不良类型、自动剔除不良元件 (超声波或激光)和清理焊盘、自动重置焊锡或银、二次 和焊接等。

    1.5K20编辑于 2022-06-08
  • 砷化镓(GaAs)圆的光刻残留

    光刻的残留在不同外延基板上处理工艺也不同,玻璃基板或者蓝宝石就会抗造一点,砷化镓、磷化铟等就要避免酸碱。 一、残类型与成因分析 残类型 成因 典型缺陷 交联型残 等离子体刻蚀或离子注入后,光刻碳化交联,形成致密层 表面黑点、龟裂纹 金属污染 金属掩膜层(如Au/Ti)与光刻反应生成金属有机复合物 ,阻碍剥离液渗透 局部黄斑、粘附性残留 微结构卡 高深宽比(>5:1)结构内光刻因表面张力残留,如VCSEL、HEMT器件中的微孔/沟槽 孔洞底部颗粒堆积 残的形式样貌有很多种,块状不规则形状、 DuPont EKC580:过氧化氢基配方(稀释比例1:5),适合含Au/Ti金属层的圆。 低温等离子体辅助剥离(超薄残) 步骤: O₂等离子体灰化(200W,10分钟)去除表层; H₂/N₂混合气体处理(1:4,150℃)还原碳化层; 丙酮+异丙醇(IPA)低温清洗(40℃)。

    42310编辑于 2026-03-18
  • 来自专栏博捷芯划片机

    博捷芯划片机在LED灯珠EMC支架中切割应用

    EMC支架封装工艺流程:-焊线-点-切割-分光-编带。 对切割EMC LED 封装技术有绝大优势。 双轴圆切割机为12英寸全自动动精密划片机,采用高精密进口主要配件,T轴采用DD马达,重复精度1μm,稳定性极强,兼容6"-12"材料,双CCD视觉系统,性能达到业界一流水平 设备工作流程: 1.下取物臂将待切割材料从晶片盒中取出

    61060编辑于 2023-02-21
  • 用于叠层圆的光刻剥离液及白光干涉仪在光刻图形的测量

    引言随着半导体技术向高密度、高性能方向发展,叠层圆技术成为关键。在叠层圆制造过程中,光刻剥离液的性能对工艺质量和器件可靠性影响重大。 同时,精确测量光刻图形是保障叠层圆制造精度的重要环节,白光干涉仪为此提供了有效的技术手段。用于叠层圆的光刻剥离液性能要求叠层圆结构复杂,对光刻剥离液提出了严苛要求。 成分构成常用的叠层圆光刻剥离液主要由溶剂、碱性物质、表面活性剂、缓蚀剂和络合剂等成分组成。 之后,对混合溶液进行过滤处理,去除可能存在的杂质颗粒,得到澄清透明的光刻剥离液。制备过程中需严格控制各成分比例,并根据光刻类型和圆材料特性进行优化调整。 ;剥离完成后,精确测量残留光刻的厚度、圆表面的粗糙度以及光刻图形的最终尺寸,为优化光刻剥离液配方和剥离工艺提供准确的数据支持,确保叠层圆制造质量符合设计要求。

    32410编辑于 2025-06-12
  • 鼎龙高端光刻进入头部晶圆厂!

    公告显示,鼎龙股份年产300吨KrF/ArF高端圆光刻产线自2026年3月20日投产后,已向两家头部晶圆厂客户交付数百加仑浸没式ArF及KrF光刻,产品已在客户量产产线顺利应用。 8款高端光刻获批量订单,商业化进程显著加快 鼎龙股份表示,截至公告披露日,公司已有8款高端圆光刻取得多家国内主流晶圆厂客户的批量订单。 其中,ArF光刻与KrF光刻4款,较今年一季度末新增5款。公司正积极提升产品交付速度,2026年上半年产品交付量预计显著提升,商业化进程显著加快。 产品覆盖全场景,剑指百亿国产替代市场 ArF与KrF光刻是逻辑、存储芯片制造的核心刚需耗材,属于国内圆光刻市场中价值量占比最高的两大品类。 然而,当前国内高端圆光刻供给仍由日本企业(如JSR、东京应化、信越化学、富士胶片)主导,国产化率较低低。

    27310编辑于 2026-06-23
  • 来自专栏芯智讯

    国产化率不足10%!一文看懂国产半导体材料产业现状

    、靶材分别占比 10%、8%、6%、4%,市场份额分别为 30 亿美元、25 亿美元、20 亿美元和 11 亿美元。 2017-2021 年,我国集成电路进口数量约为出口数量 2 倍,进口金额约为出口金额 4 倍,总体仍高度依赖进口。 《超高清视频产业发展行动计划(2019-2022 年)》指出:“到 2022 年,我国超高清视频产业总体规模超过 4 万亿元、4K 产业生态体系基本完善,8K 关键技术产品和产业化取得突破。 光刻组分决定了光刻的质量,也是光刻技术壁垒所在。 国内知名光刻企业包括南大光电、瑞电材、彤程新材、上海新阳等。由于我国光刻产业起步较晚,目前市场份额占比较低。 由于环氧树脂也是芯片主要的塑封材料,因此以上塑封材料的主要的供应商大多也属于芯片粘结材料的供应商,值得一提的是中国烟台德邦科技股份(Darbond)是国内专业提供针对集成电路用的、邦定、导电

    4.5K21编辑于 2022-12-09
  • 来自专栏硬件大熊

    警惕超声波工艺对振造成损伤

    图片来源: 致远超声设备 振是频率元器件, 1. 若超声波工作频率与振的晶片产生共振效应,极其易碎的晶片就很可能被震碎,造成振停振; 振在受到足够激励功率的电流时,晶片就会有规律震动,这是水晶的物理特性。 晶片越薄,振的振动频率就越高,越厚,振动频率越低。 图片来源:诺威科技 2. 晶片与基座上的弹片通过导电连接,在超声波高频震荡下,导电可能被震裂,导致晶片与基座之间出现断路,不再起振。 图片来源:诺威科技 警惕超声波工艺对振造成的损伤 1. 确保振与产品外壳之间有一定空间,尽量避开超声区域; 2. 降低超声仪运行功率; 3. 提前做样品验证测试,检查超声工艺适用性; 4. 对于导电裂开问题,可以考虑选型高强度导电处理的振,包括晶片固着点特殊处理(当然,这也会导致振的参数变动,如ESR等)

    91840编辑于 2023-09-02
  • 来自专栏韩曙亮的移动开发专栏

    【了不起的芯片 - 读书笔记】CPU 的制作流程 ( 圆制作 | 光刻机光刻流程 | 蚀刻过程 | 涂层过程 | 重复上述步骤若干次 | 芯片封装 )

    下面是 光刻过程的图解 : 在圆上涂抹光刻 , 光刻涂抹完毕 , 在 圆 上涂抹完 光刻 后 , 使用光刻机 , 进行光刻 , 中间的透镜是 掩膜 , 其中有电路图案 , 光刻机将该掩膜中的图案 投射到 圆上 , 光刻机 克完之后的 圆 中 , 有很多电路 , 该电路有很多层 , 检查光刻效果 , 紫外曝光: 使用紫外线光源,通过掩膜将光照射到光刻上。 光刻保留的部分不会被蚀刻 ; 光刻被溶解的部分 , 会被蚀刻 ; 三、蚀刻过程 ---- 刻蚀 有两种方式 , 化学腐蚀反应 / 用等离子体轰击圆表面 ; 光刻覆盖的位置保留 , 没有光刻的部位被刻蚀 蚀刻过程涉及以下主要步骤: 掩膜图案定义: 首先,在圆表面涂覆一层光刻,并使用光刻技术将掩膜图案转移到光刻上。掩膜图案是所需结构和图案的阴影图案,它决定了蚀刻后所保留的区域。 清洗和剥离: 在蚀刻完成后,对圆进行清洗,去除蚀刻剂和剩余的光刻

    3.3K20编辑于 2023-10-11
  • 2025Q4圆代工市场:中芯国际第三,合集成第九!

    此外,新款智能手机的发布也提振了移动应用处理器 (AP) 的圆订单,从而支撑了稳健的出货量。 尽管第四季度整体圆出货量略有减少,但受益于以iPhone 17为主的手机旗舰应用处理器(AP)出货,带动了3nm制程圆出货,整体平均销售价格(ASP)得以提高。 这主要得益于其2nm制程开始贡献营收,以及其HBM4产品所使用的逻辑圆(logic die)开始产出,抵消了整体产能利用率微幅下滑的影响。 其增长动能来自本地化需求红利,推动总圆出货增加、ASP略微提升,以及当年底光罩出货量的增加。 世界先进与合肥合则分别滑落至第八和第九名,力积电(PSMC)排名第十。 如果以2025年全年来看,前十圆代工厂商的排名与2025年四季度相同。其中,仅三星出现了营收同比下滑,下滑幅度为3.9%。

    47010编辑于 2026-03-19
  • 来自专栏芯片工艺技术

    半导体芯片工艺材料有哪些,国内发展水平如何

    半导体材料市场可以分为圆材料和封装材料。其中,圆材料主要有硅片、光掩膜、光刻、光刻辅助设备、溅射靶、抛光液、其他材料。 封装材料主要有层压基板、引线框架、焊线、模压化合物、底部填充料、液体密封剂、粘材料、锡球、圆级封装介质、热接口材料。其中,大硅片占比最高。 大硅片:最主要的半导体材料 大硅片也称硅圆,是最主要的半导体材料,硅圆片的市场销售额占整个半导体材料市场总销售额的32%~40%。硅片尺寸越大,对材料和技术的要求也就越高。 光刻:国产率不足10% 我国光刻生产基本上被外资把控,其中半导体光刻严重依赖进口。光刻由低端到高端整体可分为PCB 光刻、面板光刻和半导体光刻三个大类。 光刻主要A股上市公司:瑞股份、飞凯材料。

    1.1K20编辑于 2022-06-08
  • 来自专栏程序员成长充电站

    一步步做个集成电路(IC)

    计算机基础课第 38 期分享 转载请联系授权(微信ID:qianpangzi0206) 阅读本文大概需要 4 分钟 01 光刻法 下面用一个简单例子,来做一片集成电路(IC) 我们从一片硅开始,叫"圆 我们可以用圆做基础,把复杂金属电路放上面,集成所有东西,非常适合做集成电路。 下一步是在硅片顶部,加一层薄薄的氧化层, 作为保护层,然后加一层特殊化学品, 叫 "光刻"。 光刻被光照射后 会变得可溶,可以用一种特殊化学药剂洗掉。 单单光刻本身,并不是很有用但和"光掩膜"配合使用会很强大,光掩膜就像胶片一样,只不过不是吃墨西哥卷饼的可爱仓鼠,而是要转移到圆上的图案。 把光掩膜盖到圆上,用强光照射挡住光的地方,光刻不会变化。光照到的地方,光刻会发生化学变化 洗掉它之后,暴露出氧化层。 所以又是类似的步骤用光刻+光掩膜,然后溶掉暴露的光刻,暴露的金属 晶体管终于做好了!它有三根线,连接着硅的三个不同区域,每个区域的掺杂方式不同,这叫双极型晶体管。

    64020发布于 2019-08-29
  • 鼎龙股份:潜江二期300吨光刻量产线即将试运行

    12月22日,国产光刻厂商鼎龙股份在互动平台上表示,公司潜江二期年产300吨KrF/ArF高端圆光刻量产线,已按计划即将进入试运行阶段,当前整体节奏良好。 潜江一期30吨KrF/ArF 高端圆光刻产线具备批量化生产及供货能力,可满足客户端现阶段订单需求。 同时,鼎龙股份还表示,公司深耕半导体材料领域多年,在 KrF、ArF 高端圆光刻领域已构建从核心原料到成品的全流程自主制备体系。 公司布局的近 30 款高端圆光刻(涵盖KrF与浸没式ArF),可适配多制程需求。 截至目前,公司已有两款高端圆光刻通过国内主流晶圆厂验证并获得订单,超15款产品送样验证、超10款产品进入加仑样测试。

    28510编辑于 2026-03-20
  • 来自专栏视觉检测

    基于机器视觉的圆检测方案

    为确保生产的芯片质量合格,圆检测这一环节在半导体生产中变得尤为关键。在圆生产和质量控制过程中,圆检测可大大提高生产效率和产品质量。因此,圆检测是半导体企业中不可或缺的环节。 4、适配性要求 能够兼容不同尺寸、不同制程(3nm-90nm)、不同封装类型(QFP、BGA、CSP等)的芯片,支持多产品模板存储,一键换型,适配多规格、小批量生产需求。 芯片生产质检常见案例1、圆缺陷检测   圆表面光滑、反光明显,部分≤0.01mm的微小缺陷肉眼无法识别,漏检、错检率高。缺陷涵盖裂纹、气泡、颗粒、划痕等类型难以精准分类。 2、芯片封装检测   芯片封装后容易出现破损、溢,印字(型号、生产日期)模糊、错印,条码无法识别等问题,厂家需要协同完成全流程检测。 方案采用同轴光+面光组合;搭载OCR识别算法,精准识别印字内容、条码信息,验证逻辑一致性;同步检测封破损、溢、缺等缺陷。3、芯片引脚检测   常见的引脚缺陷包括引脚尺寸偏差、弯曲、缺失和氧化。

    1100编辑于 2026-06-26
  • 来自专栏芯智讯

    传日系光刻大厂断供,国产光刻概念股集体大涨!

    国产光刻厂商布局与最新进展: 目前国产g/i 线光刻供应商主要有瑞电材(苏州瑞红)、彤程新材(北京科华),总体在全球市场份额约10%; 在KrF光刻方面,国内的彤程新材(北京科华)、上海新阳、 瑞电材(苏州瑞红)、徐州博康(华懋科技持有约26%股份)等都有布局,但实现量产供货的却不多,整体市场份额不到1%。 在ArF光刻方面,国内的南大光电、瑞电材(苏州瑞红)、彤程新材(北京科华)、上海新阳、徐州博康(华懋科技持有约26%股份)等也都有布局,但没有实现大批量量产供货。 瑞电材 瑞电材此前曾表示,子公司瑞红(苏州)电子化学品股份有限公司2018年完成了国家重大科技项目02专项“i线光刻产品开发及产业化”项目后,i线光刻产品向中芯国际、合肥长鑫、华虹半导体、合集成等国内知名半导体企业批量供货 高端KrF光刻分辨率达到0.25-0.13μm,通过部分重要客户测试,计划2022年底批量供应;ArF光刻研发工作正有序开展。眉山瑞年产1200吨光刻项目计划2022年底建成。

    93610编辑于 2023-03-24
  • 来自专栏用户7621540的专栏

    手把手教你,19步从石头里抠出一块CPU

    第十一步,把光刻(photoresist)放到硅圆上。 由于切割出的圆表面依然不光滑,所以需要经过仔细研磨来减少切割时造成的凹凸不平的表面。 研磨的时候会用到一些特殊的化学液体来对圆表面进行清洗,最后抛光。到这一步为止圆的制备就算完成了。之后圆会被装进特殊的盒子里密封保存运输。 第十三步,光遮罩(photo-mask)产生的阴影位置将会影响硅圆表面光刻的化学变化,取决于使用的是positive 还是negative 的光刻(photoresist)。 光刻按其形成的图像分类有正性、负性两大类。 在光刻工艺过程中,涂层曝光、显影后,曝光部分被溶解,未曝光部分留下来,该涂层材料为正性光刻。 如果曝光部分被保留下来,而未曝光被溶解,该涂层材料为负性光刻。 第十四步,加入一些神奇的化学物质来改善(develop)一下光刻。 第十五步,用酸(acid)来腐蚀掉硅圆暴露出来的部分。

    71810编辑于 2021-12-21
  • 来自专栏行业研究报告

    2022年半导体材料行业研究报告

    以硅圆材料为例,全球硅片厂商被日本信越科学、日本三菱住友、台湾环球圆、德国Siltronic、韩国LG所占据,且这些厂商生产的硅片覆盖4英寸-12英寸。 除此之外,江丰电子和瑞股份已分别在溅射靶材和光刻领域打破了国外厂商垄断格局,推动了中国半导体靶材和光刻材料国产化进程。 大陆IDM厂商主要有:华润微电子、士兰微、扬杰科技、苏州锝、上海贝岭等。 此外,抛光液和抛光垫、光刻配套试剂、光刻、湿化学品、溅射靶材的占比分别为7.2%、6.9%、6.1%、4%和3%。 总体而言,中国半导体材料在硅圆、靶材、封装基板市场竞争较为激烈,而抛光液和光刻市场的集中度则较高。

    1.4K30编辑于 2022-05-05
  • 来自专栏钱塘大数据

    芯片里面100多亿个晶体管是如何安装上去的?

    圆代工厂就是根据芯片设计师设计好的物理版图进行制造。 通常的圆加工流程中,刻蚀工艺位于光刻工艺之后,有图形的光刻层在刻蚀中不会受到腐蚀源的显著侵蚀,从而完成图形转移的工艺步骤。刻蚀环节是复制掩膜图案的关键步骤。 在涂满光刻圆(或者叫硅片)上盖上事先做好的光刻板,然后用紫外线隔着光刻板对圆进行一定时间的照射。原理就是利用紫外线使部分光刻变质,易于腐蚀。 溶解光刻:光刻过程中曝光在紫外线下的光刻被溶解掉,清除后留下的图案和掩模上的一致。 “刻蚀”是光刻后,用腐蚀液将变质的那部分光刻腐蚀掉(正),圆表面就显出半导体器件及其连接的图形。 然后用另一种腐蚀液对圆腐蚀,形成半导体器件及其电路。 清除光刻:蚀刻完成后,光刻的使命宣告完成,全部清除后就可以看到设计好的电路图案。

    3.5K10编辑于 2022-03-15
  • 2024Q4全球圆代工市场:中芯国际第三,合集成升至第九!

    3月11日消息,近日TrendForce集邦咨询公布的最新报告显示,全球圆代工产业呈两极化发展,先进制程受益于AI服务器等新兴应用增长,以及新旗舰智能手机AP和PC新平台备货周期延续,带动高价圆出货增长 ,抵销成熟制程需求趋缓冲击,使得2024年第四季度全球前十大圆代工厂商合计营收达384.8亿美元,环比增长9.9%,再创历史新高。 TrendForce表示,随着美国特朗普新政府上台,新的关税政策对于全球圆代工产业的影响已经开始发酵。 华虹集团排名第六,其旗下HHGrace的12英寸产能利用率略增,带动圆出货、平均单价皆微幅成长。 但若以2024全年看,力积电营收仍略高于合肥合。 编辑:芯智讯-浪客剑

    38410编辑于 2026-03-19
  • 来自专栏新智元

    手把手教你,19步从石头里抠出一块CPU

    第十一步,把光刻(photoresist)放到硅圆上。 由于切割出的圆表面依然不光滑,所以需要经过仔细研磨来减少切割时造成的凹凸不平的表面。 研磨的时候会用到一些特殊的化学液体来对圆表面进行清洗,最后抛光。到这一步为止圆的制备就算完成了。之后圆会被装进特殊的盒子里密封保存运输。 第十三步,光遮罩(photo-mask)产生的阴影位置将会影响硅圆表面光刻的化学变化,取决于使用的是positive 还是negative 的光刻(photoresist)。 光刻按其形成的图像分类有正性、负性两大类。 在光刻工艺过程中,涂层曝光、显影后,曝光部分被溶解,未曝光部分留下来,该涂层材料为正性光刻。 如果曝光部分被保留下来,而未曝光被溶解,该涂层材料为负性光刻。 第十四步,加入一些神奇的化学物质来改善(develop)一下光刻。 第十五步,用酸(acid)来腐蚀掉硅圆暴露出来的部分。

    68910发布于 2021-11-23
  • 来自专栏自动化控制技术控

    芯片的相关知识

    圆光刻显影、蚀刻 光刻工艺的基本流程,首先是在圆(或衬底)表面涂上一层光刻并烘干。烘干后的圆被传送到光刻机里面。 光线透过一个掩模把掩模上的图形投影在圆表面的光刻上,实现曝光,激发光化学反应。对曝光后的圆进行第二次烘烤,即所谓的曝光后烘烤,后烘烤是的光化学反应更充分。 最后,把显影液喷洒到圆表面的光刻上,对曝光图形显影。显影后,掩模上的图形就被存留在了光刻上。涂胶、烘烤和显影都是在匀显影机中完成的,曝光是在光刻机中完成的。 匀显影机和光刻机一般都是联机作业的,圆通过机械手在各单元和机器之间传送。整个曝光显影系统是封闭的,圆不直接暴露在周围环境中,以减少环境中有害成分对光刻和光化学反应的影响。 4、制作组成不同 芯片的制备主要依赖于微细加工、自动化及化学合成技术,而CPU包括运算逻辑部件、寄存器部件,运算器和控制部件。 5、外观差别 芯片 ? cpu ?

    1.2K20发布于 2019-07-22
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