半自动探针台产品

一、产品整体介绍

适用于4、6、8、12英寸半导体集成电路、分立器件晶圆的半自动探针测试。配备有高精度高刚性工作台， 高精度CCD视觉定位系统，自动化程度高。通过探针扎在芯粒的PAD上，加入输入信号，接受输出信号， 通过客户自己配置的测试仪表，进行电参数测试，由TESTER最终判断芯粒的好坏，测试结果实时显示在 主界面ｍａｐ中。设备高精度、高刚性的工作台保证扎针精度。显微镜观察系统，可实时观察探针测试情况。卡盘采用三轴超低噪声结构，电学独立悬空；设备主要应用于射频领域测试，目前与研究所、高校及知名企业等领域均有合作。

二、主要技术指标

三、软件功能

四、主要部件结构及示例

五、PCA-R 探卡测试案例

探卡盘用于装夹探针卡。适用于芯片引脚较多，针座无法布置的测试情况。探针卡固定安装在探 卡盘上，具有整体调平、角度调整功能，调整所有针尖端面平行于晶圆，对准测试 PAD，设备按照设定 参数运行连接探针，顺序进行测试。该设备也可使用探针座方式（测试PAD点较少），通过显微镜观察， 分别独立调整对应探针三维坐标，对准测试 PAD，设备按设定参数运行，顺序测试。测试时根据芯片最 高点位置设置接触分离高度，系统自动运行。

六、整体测试方案示意图