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薄膜应力测试仪（激光曲率法） 测试原理及样品要求
薄膜应力测试仪（激光曲率法） 测试原理及样品要求在半导体、微电子、光伏及新材料等领域，沉积在基片上的薄膜其内在应力是决定器件性能与可靠性的关键参数。 过大的应力会导致薄膜起皱、开裂甚至与基片剥离，直接影响产品的成品率和寿命。因此，精准、高效地测量薄膜应力至关重要。薄膜应力测试仪，特别是基于激光曲率法的设备，已成为该领域的主流测量工具。 本文将以FST5000薄膜应力仪为例，详细介绍其测试原理与样品要求。 一、 核心测试原理：从激光扫描到Stoney公式激光曲率法薄膜应力测试仪的核心原理，建立在经典的基片弯曲法和Stoney公式之上，并通过先进的激光扫描技术实现了高精度的非接触测量。 总结FST5000薄膜应力测试仪凭借其基于激光曲率法的先进测量原理，提供了快速、精准、非接触的应力分析方案。
34710编辑于 2025-11-03 - 来自专栏全栈程序员必看
薄膜电容分类研究_贴片薄膜电容
薄膜电容总的来说性能很好，但也分很多种类和级别，应用的场合也有所不同。 基础知识在Wiki上很详尽，下图展示了薄膜电容的电极/电介质材料和它们的缩写： 电极材料 首字母M是指金属化薄膜电极（塑料薄膜上制作有薄薄的金属层），而F是指金属箔电极（单独的金属箔，不依附于塑料薄膜 但金属化薄膜电极的好处是电容尺寸更小，因为作为电极的金属层非常薄。 首字母以后的字母代表了介质材料。 电介质材料 目前最常见的MKT和MKS电容都是金属化聚酯（PET，俗称涤纶）薄膜电容。 停产的主要原因是90年代以来，PC薄膜不再生产了。 而金属化薄膜与金属箔电极的性能区别非常小，金属化薄膜体积上有优势，应用中可优先采用。
1.7K20编辑于 2022-09-23 - 来自专栏ABAQUS二次开发
Abaqus-Python后处理Mises应力与应力提取
下图计算结果中每一个单元的应力和mises应力遍历读取的程序如下，公众号的读者可参考学习，其他的场变量的读取类似。 :ABAQUS二次开发 #author:阿信老师CAE #email:axin_cae@163.com #2024.4.1 ############################ # mises应力的提取与计算 stepName].frames #读取最后一帧 fVal = frameRepository[-1].fieldOutputs['S'].values #遍历输出每一个单元(C3D8R)的mise应力
2.2K10编辑于 2024-04-03 - 来自专栏仿真CAE与AI
半导体仿真怎么选？重点方向全梳理
从芯片设计的电路验证，到制造环节的工艺优化，再到封装测试的可靠性评估，不同阶段需针对性开展各类仿真，以覆盖半导体产品全生命周期的技术需求。 薄膜沉积仿真：薄膜沉积（如化学气相沉积、物理气相沉积）用于制备介质层、金属互连层，沉积仿真模拟薄膜生长过程中的原子堆积、化学反应，预测薄膜的厚度均匀性、致密度与应力状态。 例如，仿真可分析沉积温度、压力对薄膜厚度分布的影响，避免晶圆边缘与中心的薄膜厚度差异过大；同时预测薄膜内应力大小，防止因应力过大导致的晶圆翘曲或薄膜开裂，保障后续工艺的稳定性。 三、封装测试阶段芯片封装不仅是保护芯片的外壳，还需实现芯片与外部电路的连接、散热与信号传输，仿真技术可评估封装结构的可靠性、热性能与信号完整性，确保封装后的芯片能在实际应用环境中稳定工作。 从芯片设计的功能验证，到制造工艺的参数优化，再到封装测试的可靠性评估，仿真技术贯穿半导体产品全生命周期，成为解决行业技术痛点、推动技术迭代的关键工具。
32910编辑于 2025-11-11 芯片测试座接触与应力参数对芯片测试可靠性的影响
二、关键应力参数解析：避免芯片与测试座结构损伤应力参数是测试座 “兼容芯片封装” 与 “保障长期可靠性” 的核心，德诺嘉通过应力控制，既避免芯片因应力过大损坏，也防止测试座自身形变失效。1. 热应力：解决 “温度差异” 导致的结构失效产生原因与影响：测试过程中（如高温老化、功率测试），芯片与测试座因材料不同产生热膨胀差异（CTE 不匹配），导致热应力，长期会引发探针松动、基板开裂，甚至芯片焊球脱落 ；动态热应力监测：高端测试座集成微型压力传感器，实时监测热应力变化（精度 ±2MPa），当应力超过阈值（如 80MPa）时，自动调整测试温度或接触压力，避免损伤。 （低应力需求）设计接触压力 5g/pin、热应力 30MPa 的测试座，为车规功率芯片（高稳定需求）设计接触电阻 15mΩ、插拔寿命 15 万次的方案；测试场景落地：在德诺嘉的典型应用中，接触与应力参数的优化直接提升测试效率 接触与应力参数的核心价值芯片测试座的接触参数决定 “测试准确性”，应力参数决定 “测试安全性与耐久性”，二者共同构成测试可靠性的基础。
39110编辑于 2025-09-22- 来自专栏数值分析与有限元编程
力学概念| 预应力
▲图1 预应力混凝土梁 预应力是一种使结构构件在承受荷载前即产生应力的技术。它可以用于减小结构在外荷载作用下的应力或位移，也可使张力结构生成某种特定的形状。 可见，预应力使梁截面产生压应力，从而减小或消除了由外荷载产生的拉应力。 图3c和图3d可知，由偏心预应力引起的截面应力 \sigma_{e} 的方向恰好与外载作用下的梁截面应力方向相反，从而使得截面内的应力分布更加均匀。 体外张拉预应力梁 ▲图4 体外张拉预应力梁 预应力钢筋也可以折线或曲线的形式置于梁的外部。图4a 为一体外张拉预应力简支梁，有两根折线形预应力钢筋对称布置在梁的外侧。 ，体外张拉预应力最为有效，其次是偏心张拉预应力，而中心张拉预应力的效果最差。
96240编辑于 2023-10-09 - 来自专栏程业电热科技-加热与测温方案
程业电热科技-晶圆加热盘的设计流程
；RTA/退火：重点需求为瞬态热响应、热应力与掺杂激活均匀性。 3.2加热方式选择电阻丝加热：双头或铠装加热管，适合大面积均匀加热；薄膜加热：金属或陶瓷薄膜，多区独立控制，均匀性高；感应加热：非接触式，适合特殊工艺，但真空兼容性设计复杂。 6.3装配工艺开发制定装配顺序、清洁流程、扭矩与压力控制规范；对加热丝/薄膜焊接、电极连接、绝缘测试等环节进行工艺验证。本阶段输出《原型样件》、《装配作业指导书》与《首件检验报告》。 七、阶段七：多层级验证测试7.1单元测试加热丝/薄膜电阻、绝缘电阻、泄漏电流测试；真空漏率测试（氦检），确保释气率达标。 7.2子系统测试热性能：温升曲线、温度均匀性、控温精度；热应力：晶圆翘曲测量、应力分布仿真与实测比对；光学性能（光刻）：盘面反射率、荧光、热致像差测试。
17510编辑于 2026-03-09 - 来自专栏联远智维
ABAQUS 求解应力强度因子
应力强度因子是断裂力学中表征裂纹尖端应力应变场强度的一个极为重要的参数，用应力强度因子表达的脆断准则为KI=KIC，其中，KIC为材料的断裂韧度，KI是构件裂纹尖端的应力强度因子，由材料的尺寸、形状和所受的载荷形式确定 目前，应力强度因子的求解方法有解析法、数值解法和实验标定法等。 裂纹问题的分析主要包括裂纹参量的计算：应力强度因子、J积分以及能量释放率等。
2.8K20编辑于 2022-01-20 - 来自专栏数值分析与有限元编程
材料的名义应力、应变与真实应力、应变转换公式的推导
材料的名义(Nominal)应力、应变是基于变形前的数据计算得到， 其中 为试件初始截面面积， 为试件初始长度。名义应力、应变也叫工程(Engineering)应力、应变。 CAE软件需要采用基于变形后的应力、应变，即真实的应力、应变。 其中 为试件当前截面面积， 为试件当前长度。 两种应力、应变的转化公式为： 下面来推导这两个公式。 一) 了解定积分的精确定义。 font.sans-serif'] = ['SimHei'] # 正常显示中文标签 plt.rcParams['axes.unicode_minus'] = False # 正常显示负号 # 名义应力应变 562.60897,571.00612,579.40327,587.800419,596.197567,604.594716,612.99186, 621.3890,629.78616,638.18331]) n = len(sigma_N) print(n) #真实应力应变
22.7K50发布于 2021-05-18 - 来自专栏联远智维
工业机器人（四）——传感元件制作
然后采用502胶水把传感器粘贴在试样上，接着把试样两端固定在拉伸机上，施加位移载荷，观看应变片电阻值变化情况，具体如下图所示： 未加载情况下，应变片电阻值大小（与设计值吻合度很高） 制作标准试样，测试应变片的精度 1060铝合金，截面为矩形，宽度为16mm，厚度为1mm，两端固定在拉伸机上，在试件两端施加位移载荷，观看应变片电阻值变化情况 3、 应变片的应用示例：应变片能够灵敏度的捕捉金属箔纵向方向的变形，实验中测试了前期加工的应变片在弯曲曲率测量上的应用 ，当被测部件受力发生形变后，贴在表面的应变片也随之发生相应形变，引起其电阻值发生相应变化，配备相应的驱动电路，使应变或应力等机械量转变为电学量，其基本原理为： 根据电阻定义，在自由状态下，薄膜应变敏感材料的电阻可表示为 ： 式中 ρ 为薄膜电阻率，L、w、t 分别为薄膜的长度、宽度与厚度；薄膜受沿长度方向的应力作用而产生应变时（如下图所示），其电阻变化 dR与 R 的比值即为薄膜为： 应变片原理示意图 金属丝长度产生的应变可表示 温度对应变片有两方面的影响：1、温度影响导电材料的电阻率；2、材料有热胀冷缩效应，温度影响导电材料的几何尺寸，定义电阻温度系数，具体为： 附件：应变片小常识 附1：应变片基本知识 应变计电阻值的选择：做应力测试时
1.3K20编辑于 2022-01-20 - 来自专栏测试GO材料测试
材料力学性能评估利器：双轴拉伸试验机-测试GO
材料力学性能评估利器：双轴拉伸试验机-测试GO在材料科学与工程领域，双轴拉伸测试正成为评估材料力学性能的关键技术，它能够还原材料在复杂应力状态下的本质特性。 双轴拉伸试验机通过在两个相互垂直的方向上同时施加载荷，模拟材料在复杂应力状态下的力学行为，为材料设计、产品开发和安全评估提供关键数据支持。 双轴拉伸试验机测试生物材料双轴拉伸测试的技术原理双轴拉伸测试是一种先进的材料力学性能评估方法，通过在两个相互垂直的方向上同时对材料施加拉伸载荷，模拟材料在实际应用中承受的多轴应力状态。 ：如生物医用材料、软组织等薄膜与薄片材料：包括各种包装材料、功能薄膜等在汽车工业中，双轴拉伸测试用于方向盘、座椅支架、轮毂等部件的设计与验证； 在航空航天领域，用于飞机蒙皮、发动机叶片等关键部件的性能评估 测试标准与样品制备双轴拉伸测试需要遵循相关标准和规范，以确保测试结果的可靠性和可比性。常见的测试标准包括GB/T、ASTM、ISO、DIN、JIS等国内外标准。 样品制备是测试过程中的关键环节。
26310编辑于 2025-11-04 - 来自专栏python3
交变应力参数表
跳转到我的博客 交变应力图 ? 交变应力参数说明 最大应力 \[{{S}_{\max }}\] 最小应力 \[{{S}_{\min }}\] 平均应力 \[{{S}_{\text{m}}}=\frac{1}{2 }\left( {{S}_{\max }}+{{S}_{\min }} \right)\] 应力比（应力特征） \[R=\frac{{{S}_{\min }}}{{{S}_{\max }}} \] 应力振幅 \[{{S}_{a}}=\frac{1}{2}\left( {{S}_{\max }}-{{S}_{\min }} \right)={{S}_{\text{m}}}\left 平均应力 最大应力 最小应力 应力振幅 \(R\) \({{S}_{m}}\) \({{S}_{\max }}\) \({{S}_{\min }}\) \({{S}_{a}}\) -1 0 \({
89630发布于 2020-01-19 - 来自专栏数值分析与有限元编程
力学概念| 预应力应用实例
为了减小塔中的弯矩在塔柱的后部施加后张预应力以抵消索产生的弯矩作用。通过这种方式，塔柱中的弯矩变小，从而节省了材料，也增大了结构刚度。图2给出了一个塔柱的弯矩。 图2b 所示为对塔施加的后张预应力以及由此产生的弯矩。 由于预应力的作用线与塔柱中性轴之间的距离呈线性变化，因此塔柱中的弯矩由顶部的 M_{pa} 至底部的 M_{pb} 也线性变化，并且其方向与索在塔中产生的弯方向相反。 可见，后张预应力对塔柱中弯矩的降低作用是明显的。降低内力可以减小结构位移，提高结构刚度。 ▲图2 塔柱弯矩概念分析 (a)索力产生的弯矩 (b)预应力产生的弯矩 (c)索力和预应力的合弯矩 ★★★★★★★ 往期 ★★★★★★★★ 力学概念| 预应力 力学概念| 直接传力路径 力学概念|
41540编辑于 2023-10-25 - 来自专栏厚膜贴片电阻
国巨SA系列车规软端厚膜电阻的核心特点与优势分析
车规级电阻主要包括电流检测车规级电阻、贴片薄膜车规级电阻、贴片厚膜车规级电阻、抗硫化车规级电阻等类型。 其实，“软端”并非指电极材质柔软，而是其结构能更有效地缓冲和吸收机械应力与热应力。因为汽车工作时会产生持续振动以及温度循环（例如从低温冷启动到发动机舱高温）。 以下是其提升可靠性的主要机制：软端子设计采用柔性端子结构，能够有效分散机械应力，避免应力集中在焊接点或元器件本体上。在温度频繁变化的条件下，不同材料之间的热膨胀系数差异会导致焊接点承受额外的应力。 柔性端子不仅减少了焊接过程中因机械应力或热应力引起的损伤，还能增强焊接点的机械强度，从而提高元器件的长期可靠性。软端子设计通过减少机械应力和热应力对元器件的影响，显著延长了其使用寿命。 这意味着它们必须满足汽车电子行业极为苛刻的测试要求，包括高温存储、温度循环、高温高湿、耐硫测试、机械冲击与振动等，确保在车载恶劣环境下仍能持久稳定工作。
22210编辑于 2025-09-15 - 来自专栏芯片工艺技术
芯片表面SiO2薄膜
在微电子技术以及在微结构、微光学和微化学传感器中，需要在由不同材料构成的大面积的薄膜层中构造功能完善的结构。
62100编辑于 2022-06-08 - 来自专栏数值分析与有限元编程
力学概念| 预应力钢压杆
采用预应力技术可使压杆不受长细比制约,排除杆件失稳影响,只依据杆件截面强度来设计承载力,从而挽回传统压杆设计中的强度折减损失。因此预应力压杆可以节约材料、减轻自重、降低成本。 图1a 所示的组合结构,其中压杆 AB 除受到轴向压力荷载 F_p 作用之外,还受到来自4根预应力拉索的作用,每根拉索的拉力为 F_t 。 ▲图2 由此可知，预应力拉索给细长的钢柱提供了弹性支座,从而保证了柱的稳定性。它们不仅具有建筑所要求的功能,同时也是结构的重要组成部分。 以下是青岛北站的预应力压杆照片
61120编辑于 2023-11-01 - 来自专栏数值分析与有限元编程
理想塑性材料的残余应力
如图1所示，圆杆为理想塑性材料，,作用在点，然后撤去，求杆的残余应力。已知杆的半径为。 ▲图1 荷载作用在杆处，可能会有四种情况：都处于弹性状态；塑性而还是弹性；塑性而还是弹性；都进入塑性状态。 此时段内力为 两段的应力分别为： 由于段仍然处于弹性，伸长量为 屈服应变为： ▲图2 ▲图3 当作用在点时，段的应力应变行为由移动到,段的应力应变行为由O移动到。 此时有完全的弹性变形发生，段分别有反方向的，或者 拉 此时，两部分的残余应力分别为： 移除外部荷载载将导致支反座力对弹性恢复作出响应。由于这些力会限制构件完全恢复，因此会在构件中产生残余应力。 从O到C的荷载导致塑性应力分布，而沿CD的卸载仅导致弹性应力分布。叠加需要抵消这些荷载；然而，应力分布不会取消，因此残余应力将保留在构件中。 ▲图4
77850编辑于 2022-05-18 - 来自专栏ABAQUS二次开发
【TechNow】ABAQUS焊接分析- Part 1:手动定义
热和结构的耦合，最为简单的方法是执行热应力顺序耦合分析。在这种情况下，先进行热分析，然后将热分析中计算出的温度直接在结构分析中使用。用这种方法，结构性能不影响热结果。 在本文中，将给大家展示手动设置Abaqus简单焊接示例，展示如何将热分析的结果应用于结构分析（热应力顺序耦合分析）以及如何在模型中使用生死单元。 我们首先关注热分析。 图4：添加温度边界条件 添加薄膜条件 在结构的外表面不同区域手动选择施加薄膜条件。 图5：Interaction薄膜条件 输出结果选项 默认输出即可。并提交作业。 图7：去除焊料前和替换焊料后的应变 结构分析中最大增量步的PEEQ（左）和Mises应力（右） 图8：结构分析中最大增量步的PEEQ（左）和Mises应力（右） 结论 上文已经展示了一个非常简单的焊接模拟例子
3.1K10编辑于 2022-05-17 - 来自专栏程业电热科技-加热与测温方案
程业电热科技-真空加热盘的应用场景
真空加热盘是高真空/超高真空工艺装备中的关键热管理部件，其工作对象覆盖从半导体制造、表面分析、先进材料合成到航天器件测试的广泛领域。 加热盘作用：控制薄膜应力与结晶取向；抗高能离子轰击与金属沉积污染。性能需求：抗溅射：溅射产额<0.1（Ar⁺,500eV）；表面硬度>1500HV；低释气，防止靶材污染。 四、航天与核能领域的真空加热盘应用4.1航天器部件热真空试验工艺特点：模拟太空高真空（10⁻⁶–10⁻⁸Pa）与高低温循环，测试电子器件、结构件的性能。 4.2核燃料与材料辐照试验工艺特点：在真空或惰性气体环境中对材料进行高温辐照测试。加热盘作用：提供稳定温度场；抗中子/γ辐照引起的晶格损伤。 智能控制：多物理场（热、真空、应力）实时监测与闭环控制尚不成熟。六、发展趋势智能化热管理：结合AI与数字孪生，实现多区加热功率、冷却流量的动态优化。
14510编辑于 2026-03-06 - 来自专栏知识拓展
材料力学性能应力应变曲线
拉伸试验得到的应力应变，通常是指工程应力和工程应变，用于计算应力应变的横截面积和长度，是未变形的初始横截面积和初始长度（便于测量）。 与之对应的，还有真应力和真应变，用于计算应力应变的横截面积和长度，是变形后的横截面积和长度。 在应力低于比例极限的情况下，应力σ与应变ε成正比，即σ=Εε；式中E为常数，称为弹性模量或杨氏模量，是正应力与正应变的比值，弹性模量的单位与应力的单位相同。 由于不同材料应力应变曲线变化各异，通常很难确定在多大的应力下，材料开始屈服。 特别是当材料的应力超过抗拉强度后发生颈缩，横截面明显缩小，如果仍然用初始横截面积计算应力，就不太合适了。真应力（ σT）和真应变（εT），顾名思义就是真实的应力和真实的应变。
3.8K30编辑于 2022-06-14
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