小光刻机！国产化率却不足10%，国产电子束

芯片越做越小，国产量测设备正拼命追赶。

量测设备就像晶圆厂的“眼睛”，光刻、刻蚀全靠它盯着。这东西国产化率不到10%，业内管它叫“小光刻机”。

光学快，电子束准。

现在主流还是光学检测，速度快适合大批量扫。但芯片线宽缩到几纳米，光的物理极限就到了。加上现在的芯片是3D堆叠的，光根本看不清底层。

这时候电子束就派上用场了。它能像细笔一样逐行扫描，精度极高。虽然目前只占两成市场，但需求涨得挺猛。

国内正在加速替代。

别看现在国产份额还低，这几年涨得挺快。国内已经有企业拿出了28纳米的量产设备。不过跟国际顶尖水平比，还是有差距。

说白了，以后都是“光学初筛加电子束复查”。一个负责快，一个负责精，俩人搭伙干活。