北方华创：臭氧水清洗与传统RCA清洗、SPM清洗并非单向替代关系

文章来源：企鹅号 - 财闻

有投资者向北方华创（002371.SZ）提问，公司在清洗设备中，臭氧水清洗比传统rca和spm清洗相比，在先进制程上具有哪些优势？是否为先进制程清洗方式的重要选择？

8月11日，公司回答表示，随着半导体制程持续演进，器件结构与材料体系日趋复杂，清洗技术路线呈现多技术协同、分场景适配的特征。臭氧水清洗与传统RCA清洗、SPM清洗并非单向替代关系。