芯上微装自主研发的350nm步进投影光刻机获头部客户批量重复订单

观点网讯：近日，上海芯上微装科技股份有限公司宣布，其自主研发的350nm步进投影光刻机（AST6200）已通过国内化合物半导体领域头部客户的全流程工艺验证，并获得批量重复订单，正式从研发落地阶段走向商业化批量交付。

该设备可应用于功率器件、射频前端、光电子芯片及MicroLED新型显示等制程场景，研发定位专门针对碳化硅、砷化镓等化合物半导体生产。

2025年11月，首台AST6200完成出厂调试与验收，并发往客户生产现场。

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