7月29日,联合化学在互动平台确认:公司参股的米莱芯程,其全资子公司芯颐和已于2026年6月30日顺利发运首套曝光光学系统(包含自主研发制造的首套i-line照明系统与首套i-line投影物镜),并交付国内头部光刻机厂商。目前,公司对米莱芯程的持股比例为37.2760%。
37.28%,不是0.45%。联合化学的“光刻机叙事”完成了一次质变。
联合化学是谁? 2025年之前,它是一家主营有机颜料及中间体的化工企业,年营收不足3亿元,净利润不到2000万。2025年11月,公司宣布向米莱芯程增资2亿元,持股比例由19.35%增至37.28%。彼时米莱芯程尚未盈利,前三季度亏损5500万元。一家颜料公司,用2亿赌一个亏损的光刻机项目——这在当时被市场视为一次“跨界豪赌”。
37.28%意味着什么? 这不是财务投资,而是战略参股。联合化学对米莱芯程拥有重大影响,在会计处理上采用权益法核算——米莱芯程的净利润将按比例计入联合化学的投资收益。更重要的是,联合化学通过米莱芯程,间接站在了国产光刻机产业链最核心的位置上。
芯颐和交出去的是什么? 不是镜片,不是模组,是一整套曝光光学系统——照明系统+投影物镜+光机接口+装调标定方案,客户拿到就能直接对接整机上机。光源365nm,数值孔径0.45~0.6,最大视场22mm×22mm,全套自主正向设计。曝光光学系统是光刻机的“眼睛”——负责将掩膜版图案以纳米级精度投影到晶圆表面。投影物镜是光刻机光学系统中技术壁垒最高、制造成本最昂贵的部分,全视场波像差需控制在曝光波长的几十分之一以内。全球能独立交付整套曝光光学系统的企业,一只手数得过来。
交付只是起点,验证才是终局。 光学系统的技术难度涉及光学设计、元器件加工、装调、测试、标定、补偿、上机验证等多个环节。芯颐和的首套交付证明它打通了从设计到制造到装调的全链条,但交付后仍需匹配下游客户整机进行性能及可靠性验证。从“首套交付”到“批量订单”,中间隔着的是以年为单位的验证周期。
但米莱芯程的筹码不止于此。 公司聚焦光刻机整机系统工程,输出应用需求与技术规范;芯颐和承接光学子系统研发、量产与交付,形成了“前端科研攻关、后端产业化落地”的转化机制。米莱芯程创始人高安曾在ASML任职,团队掌握千余个细分步骤的整机软硬件集成、整机标定及性能调试的系统集成技术。从整机定义到光学交付,米莱芯程构建的是一套完整的系统能力。
当一家颜料公司用2亿赌一个亏损的光刻机项目时,市场看到的是“跨界”;当芯颐和的首套曝光光学系统交付国内头部光刻机厂商时,市场看到的是一次产业跃迁。真正的产业卡位,不是在风口最热时追赶,而是在所有人还在质疑“2亿赌一个亏损项目值不值”时,就已经把37.28%的持股变成了国产光刻机产业链上不可替代的坐标。门票已经买到,而真正的回报,要等到芯颐和的光学系统通过整机验证、批量交付时才能开始结算。