为加速14A制程研发？传英特尔追加ASML High NA EUV光刻机订单

9月25日消息，最新的传闻显示，英特尔近期向ASML追加了High NA EUV光刻机的订单，订购数量从原来的一台增加至两台，突显英特尔正在增加对于Intel 14A制程的资本支出。

据X平台用户@JerryCap 爆料称，预计2027年Low NA EUV光刻机的出货量将从52台提高到56台，这主要是由于英特尔额外追加了两台的订单（总量到5台），三星也追加了两台（总量到7台）。同时预计2027年High NA EUV光刻机的出货量将由8台增加值10台，其中英特尔从1台增加到2台，SK海力士也从1台增加到2台。

众所周知，High NA EUV光刻机主要是面向埃米级制程的最先进的光刻机，可以实现极高的分辨率，但是其单台价格也高达3.7亿美元，只有台积电、英特尔、三星、SK海力士等少数大厂能够负担的起。但是存储厂商的对于尖端制程需求较低，只有生产尖端制程的逻辑芯片厂商才有需要。

不过，台积电之前已经公开表态，其A16/A14将不会使用High NA EUV光刻机。相比之下，英特尔和三星则希望借助High NA EUV光刻机来加速自身尖端制程工艺上的突破。而英特尔则已经明确表示，将会在Intel 14A制程当中，利用High NA EUV光刻机来量产。

目前英特尔已经对Intel 14A进行了重新设计，以使其面向代工客户的需求。同时，近期英特尔接连获得了美国政府（89亿美元）、软银集团（20亿美元）、英伟达（50亿美元）的巨资入股，极大了缓解了之前的资金压力，得以继续在尖端制程及晶圆代工业务上增加资本支出。英特尔也将其率先在High NA EUV上所积累的经验以及其本身对于尖端制程制造所带来的助力，视为对台积电竞争的一项优势。

编辑：芯智讯-浪客剑